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本发明公开了基于微机械固支梁电容式功率传感器的锁相环及制备方法，包括衬底、设置在衬底上的共面波导信号线、两对MEMS固支梁结构、功合器、终端匹配电阻和MEMS固支梁结构电容式功率传感器，以及外接电容三点式压控振荡器。通过参考信号和压控振荡器...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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