温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的分频器及制备方法，第一CPW信号线和第二CPW信号线分别作为参考信号和反馈信号的输入端，经过一个二合一功合器连接到第三CPW信号线，第三CPW信号线上方的MEMS悬臂梁和传感电极在MEMS悬...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。