一种气刀装置制造方法及图纸

技术编号:9215277 阅读:156 留言:0更新日期:2013-09-27 12:20
本实用新型专利技术公开了一种气刀装置,包括气刀本体,所述气刀本体包括相对设置的第一板体和第二板体,所述第一板体和第二板体之间形成一气体腔室,所述第一板体的表面设置有至少一个进气口,所述气刀本体一侧设置有与所述气体腔室连通的气体喷射口,所述气刀装置还包括清洁刀,所述清洁刀包括刀体,所述刀体经所述气体喷射口延伸至所述气体腔室内,并可从所述气体腔室一端至另一端来回移动。本实用新型专利技术中,通过可编程控制的清洁刀清除影响气刀吹出气流的堵塞物,使气体喷射口吹出的气流均匀,减小基板表面的干燥不良区域,进而提高产品良率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种气刀装置,包括气刀本体,所述气刀本体包括相对设置的第一板体和第二板体,所述第一板体和第二板体之间形成一气体腔室,所述第一板体的表面设置有至少一个进气口,所述气刀本体一侧设置有与所述气体腔室连通的气体喷射口,其特征在于:所述气刀装置还包括清洁刀,所述清洁刀包括刀体,所述刀体经所述气体喷射口延伸至所述气体腔室内,并可从所述气体腔室一端至另一端来回移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:喻玥侯智吴代吾杨子衡谢少华许明王明明
申请(专利权)人:合肥京东方光电科技有限公司京东方科技集团股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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