形成于半导体基板上的导电凸块及其制法制造技术

技术编号:9199334 阅读:189 留言:0更新日期:2013-09-26 03:17
一种形成于半导体基板上的导电凸块及其制法,该半导体基板上具有多个接点及一绝缘保护层,其中,该绝缘保护层形成有外露该接点的多个开孔,该导电凸块设于该开孔中的接点上,且该导电凸块与该开孔的孔壁间具有间距,借以使该导电凸块与绝缘保护层之间不具交界接口,以避免导电凸块因应力集中于不同材质的交界接口上而发生剥落。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种形成于半导体基板上的导电凸块,该半导体基板上具有多个焊垫及绝缘保护层,其中,该绝缘保护层形成有多个第一开孔,以令该焊垫外露于该对应的第一开孔,该导电凸块包括:金属层,其形成于外露于各该第一开孔中的焊垫上;金属柱,其形成于该金属层上;导电材料,其形成于该金属柱上;以及其中,该导电凸块与该第一开孔的孔壁之间具有间距。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:简丰隆林怡宏陈宜兴
申请(专利权)人:矽品精密工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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