基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器，包括衬底以及位于衬底上的敏感层，敏感层上印刷有一对电极，这一对电极均通过电极引线连接至欧姆表；敏感层为石墨烯碳纳米管复合材料，石墨烯碳纳米管复合材料通过化学气相沉积法直接沉积于衬底上。本发明专利技术结构简单可靠、成本低、易于实现批量生产，该相对湿度传感器便于携带且在反应时间、一致性、精确度等方面的指标均高于传统方式生产的湿度传感器。采用化学气相沉积法，实现了石墨烯碳纳米管复合材料的直接制备，简化了制备工艺，同时制备的石墨烯碳纳米管的形貌可控并且具有优异的光学及电学特性，而极大地促进的石墨烯碳纳米管复合材料的应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器，其特征在于，包括衬底以及位于衬底上的敏感层，所述敏感层上印刷有一对电极，这一对电极均通过电极引线连接至欧姆表；所述敏感层为石墨烯碳纳米管复合材料，所述石墨烯碳纳米管复合材料通过化学气相沉积法直接沉积于衬底上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜守振，张超，仇恒伟，
申请(专利权)人：山东师范大学，
类型：发明
国别省市：