【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统,它包括比例分光镜、固体脉冲激光器、光学延迟线、反射镜、倍频晶体、扩束镜、聚焦透镜、反射镜、双色镜、透镜、光纤光谱仪和计算机,其特征在于:固体脉冲激光器(2)发出波长1064nm的重复频率为10Hz的纳秒级脉冲激光,经过3比7比例分光镜(1)分成两路:第一路为散焦光路,穿过比例分光镜(1)的具有70%能量的第一路脉冲激光经过倍频晶体(7)后转变为波长为532nm的脉冲激光,经扩束镜A(8)扩束、聚焦透镜A(11)会聚,通过双色镜(13)打到样品靶材(15)上,聚集透镜A(11)的焦距大于它到样品靶材表面的距离,即处于散焦状态 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:万雄,
申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。