下载基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统的技术资料

文档序号:9197009

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本专利公开了一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统。它采用比例分光镜把脉冲激光分为两路,一路经过散焦光路,另一路经过延时聚焦光路。经过散焦光路的第一路激光脉冲在样品靶材表面上预烧蚀产生一定直径的圆形平整表面,然后由经过延时聚焦光...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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