磁比例式电流传感器制造技术

技术编号：9175305 阅读：165 留言：0更新日期：2013-09-20 00:56

本发明专利技术提供一种磁比例式电流传感器，消除元件间的零磁场电阻值(R0)、电阻温度系数(TCR0)的偏差，高精度地进行电流测定。具有由因通过被测定电流产生的感应磁场的施加而电阻值变化的四个磁阻效应元件(122a～122c、123)构成的磁场检测电桥电路(13)，四个磁阻效应元件(122a～122c、123)具有经由反平行结合膜将第一铁磁性膜与第二铁磁性膜反铁磁性地结合而成的铁磁性固定层、非磁性中间层、软磁性自由层，第一铁磁性膜及第二铁磁性膜的居里温度大致相同，磁化量之差实质为零，三个磁阻效应元件(122a～122c)的铁磁性固定层的磁化方向相同，一个磁阻效应元件(123)的铁磁性固定层的磁化方向为与三个磁阻效应元件(122a～122c)的铁磁性固定层的磁化方向相差180°的方向。