压力传感器制造技术

本发明专利技术的压力传感器包括检测第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b）的输出的差值的检测电路。关于第一压力变动传感器(P1)（11a）与第二压力变动传感器(P2)（11b），使相互的间隙（23）的距离（G）相同，通过使第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的容量（V1）比第二压力变动传感器(P2)（11b）的腔（21）的容量（V2）大，从而具有互不相同的频率特性、例如互不相同的截止频率（fc1、fc2(＞fc1)）。从而，降低检测误差和扰动所导致的振动等，并且得到期望的频率特性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压力传感器，其特征在于，包括：第一压力变动传感器和第二压力变动传感器；以及检测部，检测所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的输出的差值，所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器分别具有：腔，由开口构成；悬臂，形成为在从基端侧朝向前端侧的方向延伸的板状，具有在所述腔的开口端以悬臂状态被支持的基端部和由自由端构成的前端部，根据所述腔的内部与外部的压力差而弯曲变形；间隙，设在所述悬臂的所述前端部与所述腔的开口端之间，将所述腔的内部与外部连通；以及变形检测部，检测所述悬臂的弯曲变形并输出检测结果的信号，所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器具有至少根据所述腔的容量或者所述间隙的距离而互不相同的频率特性。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内山武，新荻正隆，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：