制造微纳尺寸同轴管的方法技术

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：它包括以下步骤:1）提供一个导电基板和三个不同尺寸内径(D1,?D2,?D3)?的用于微区电解沉积的微电解导管，且D1

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：俞敏莉，郑建红，李立峰，
申请(专利权)人：宁波微极电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：