光阻剥离液组合物及其应用制造技术

技术编号:9142376 阅读:158 留言:0更新日期:2013-09-12 04:03
本发明专利技术是公开一种光阻剥离液组合物,其包含醇胺类化合物(A)、二醇类及/或醇醚类化合物(B)以及砜类及/或亚砜类的有机溶剂(C)。藉由上述光阻剥离液组合物可完全去除已形成的金属线路上的光阻又避免腐蚀金属线路。本发明专利技术还公开了一种光阻剥离的方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光阻剥离液组合物,包含:醇胺类化合物(A);二醇类及/或醇醚类化合物(B);以及砜类及/或亚砜类的有机溶剂(C)。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘骐铭施俊安
申请(专利权)人:奇美实业股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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