一种双悬臂梁式微机械加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种双悬臂梁式微机械加速度传感器。其特征在于所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板，其中，敏感芯片含有框架、悬臂梁和质量块以及四个压敏电阻，其连接关系是,所述框架内设置有两个相互独立的悬臂梁，悬臂梁的一端与框架相连，另一端与质量块相连，悬臂梁的一端与框架相连，另一端与质量块相连，悬臂梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在悬臂梁上表面；压敏电阻设置在悬臂梁上表面，所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。对于需要传感器有高谐振频率的场合，本发明专利技术能够使传感器的灵敏度提高约一倍，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双悬臂梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、第一悬臂梁（21）、第二悬臂梁（22）、第一质量块（31）、第二质量块（32）、第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44），其连接关系是，所述框架（1）内设置有两个相互独立的第一悬臂梁（21）和第二悬臂梁（22），第一悬臂梁（21）的一端与框架（1）相连，另一端与第一质量块（31）相连，第二悬臂梁（22）的一端与框架（1）相连，另一端与第二质量块（32）相连；第一悬臂梁（21）、第二悬臂梁（22）、第一质量块（31）、第二质量块（32）共同构成敏感芯片的可动部分；第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）设置在第一悬臂梁（21）上表面；第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44）设置在第二悬臂梁（22）上表面，所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙远程，袁明权，张茜梅，王海青，武蕊，屈明山，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：