圆片清洗方法与圆片清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及圆片清洗装置以及圆片清洗方法。本发明专利技术的圆片清洗方法，主要包括下述步骤：将圆片放置在水悬浮平台上并且靠水流保持圆片悬浮的悬浮处理步骤；将处理液喷射到圆片并进行适当时间处理的喷射步骤；对所述水悬浮平台盖上冲水罩，以来自与冲水罩连接的冲水管的可控制水流对圆片进行冲水来完成的冲水步骤。利用本发明专利技术的圆片清洗方法以及清洗装置不需要采用马达等的吸附自转系统就能够高效地对圆片进行清洗，而且能够可靠保护圆片正面、彻底处理圆片背面，同时，装置结构简单，操作方便。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种圆片清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：将圆片放置在可喷水的水悬浮平台上，以利用所述喷水水流保持圆片悬浮的悬浮处理步骤；将处理液喷射到圆片并进行预定时间处理的喷射步骤；在所述水悬浮平台上加盖连接了冲水管的冲水罩，利用所述冲水管的可控水流对圆片进行冲水的冲水步骤。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闵渊文，
申请(专利权)人：无锡华润华晶微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：