衬底传送装置制造方法及图纸

一种衬底传送装置，其具有框架、驱动部分和铰接式臂。驱动部分具有至少一个电动机模块，其可以从一些不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在驱动部分中。每一电动机模块都具有不同的预定特征。铰接式臂具有铰接关节。该臂连接到驱动部分上以用于铰接。臂具有可选的结构，其可从每个都具有预定构造特征的一些不同的臂结构中选择。对臂结构的选择通过对用于放置在驱动部分中的至少一个电动机模块的选择而实现。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衬底传送装置背景1. 领域本专利技术涉及一种衬底传送装置(substrate transport apparatus),更具 体地，涉及一种可配置且可互换的衬底传送装置。2. 相关开发的简述 电子产品和电子器件中的进步受到消费需求的两个主要刺激比以往更精致和更小的电子产品/电子器件；比以往更低的价格。为了追 求电子产品的进步，人们希望在制造业中(无论是设备、工具还是工艺) 也能够获得与电子产品同样多的进步。几乎直接相应于这两个消费需 求，电子器件制造中的自动化的引入和不断展开的应用已经取得了双 重的收益。电子产品的自动制造已经具有较高的精确度并减少了制造 成本。自动制造精度的提高可以增加并提高电子元器件的微型化程 度。并且，虽然自动化的制造系统具有比非自动的制造系统更高的一 次性成本，但是其基本上可以连续运转从而最终以此种办法带来该器 件更低的制造成本。此外，自动化的制造器件比起其非自动化的对手 在精密度/准确度上的改进使得废品和制造缺陷在商业上显著得减少， 从而又使被制造器件的生产成本变得更低。已经很好地使用自动化的 电子器件制造的一个领域是传送装置、器件，也称作机器人，其在不 同的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底传送装置，其包括：框架；连接到所述框架上的驱动部分，所述驱动部分具有至少一个电动机模块，而所述电动机模块能够从每个都具有不同预定特征的多个不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在所述驱动部分内；以及带有铰接关节的铰接式臂，所述臂连接到所述驱动部分上以铰接所述铰接关节中的至少一个，其中，所述臂具有可选的臂结构，其能够从每个都具有预定构造特征的多个不同的臂结构中选择，对所述臂结构的选择通过对用于放置在所述驱动部分内的所述至少一个电动机模块的选择而实现。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：U吉尔克里斯特，C霍夫梅斯特，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]