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一种衬底传送装置，其具有框架、驱动部分和铰接式臂。驱动部分具有至少一个电动机模块，其可以从一些不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在驱动部分中。每一电动机模块都具有不同的预定特征。铰接式臂具有铰接关节。该臂连接到驱动部分上以用于铰接。臂...
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