材料分压放气率测量系统及其测量方法技术方案

本发明专利技术公开了一种材料分压放气率测量系统及其测量方法，系统包括抽气泵组、超高真空室、测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，测试室通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和测试室相连，超高真空室和测试室还分别通过两个角阀与样品室相连接。本发明专利技术的测量方法是通过测得在样品室放入样品和未放入样品、两个角阀一开一关所排列组合成的四个状态的气体组分分压来计算出样品的分压放气率。本发明专利技术能够动态、实时、准确地测量材料的分压放气率和总放气率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种材料分压放气率测量系统，包括抽气泵组(1)、超高真空室(2)和样品室(9)，所述抽气泵组(1)与超高真空室(2)直接连接，用于对所述超高真空室(2)抽真空，所述样品室(9)用于放置样品(10)；其特征在于：所述材料分压放气率测量系统还包括：测试室(6)，其通过小孔(5)与所述超高真空室(2)连接；第一质谱计(3)和第二质谱计(4)，其分别与所述超高真空室(2)和测试室(6)相连接。第一角阀(7)和第二角阀(8)，所述超高真空室(2)和所述测试室(6)分别通过所述第一角阀(7)和第二角阀(8)与所述样品室(9)相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王魁波，吴晓斌，王宇，陈进新，罗艳，谢婉露，张罗莎，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：