温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种材料分压放气率测量系统及其测量方法，系统包括抽气泵组、超高真空室、测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，测试室通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和测试...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。