【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种抗高温氧化薄膜传感器，包括待测合金基板及附着于其顶面的NiCrAlY（镍铬铝钇）合金过渡层，过渡层以上依次为氧化铝/氮化铝过渡层、氧化铝/氮化铝陶瓷绝缘层、由各电极组成的传感器功能层及其Si3N4隔离层以及设于隔离层上的氧化铝保护层，关键在于当绝缘层为Al2O3时，在Al2O3绝缘层与Al2O3保护层之间设置Si3N4隔离层，而传感器功能层中的各电极则分别设于隔离层内；当绝缘层为AlN时，传感器功能层中各电极设于AlN绝缘层上后，在AlN绝缘层和功能层的各电极与Al2O3保护层之间设置Si3N4隔离层；其中NiCrAlY合金过渡层通过磁控溅射方法沉积于金属基板顶面，Al2O3/AlN过渡层由NiCrAlY合金过渡层析出的金属铝经直接氧化或氮化处理而成，Al2O3/AlN绝缘层则分别与相应的Al2O3过渡层或AlN过渡层紧密连接，隔离层或通过化学气相沉积于Al2O3绝缘层上、而功能层中各电极设于该隔离层内或通过化学气相沉积直接沉积于AlN绝缘层及功能层中各电极上，Al2O3保护层则蒸镀于隔离层的上表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋洪川，吴勐，陈寅之，蒋书文，刘兴钊，张万里，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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