【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可移位辐射源架，其特征在于，包括设在中间位置的主转动轴，围绕主转动轴均匀设置若干个绕主转动轴旋转的基片工件盘，主转动轴与各基片工件盘通过连杆连接，基片工件盘下装有使其自转的次传动轴，在基片工件盘旋转面上下两侧分别设有上部可移动加热辐射体和下部可移动加热辐射体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王朝阳，宫睿，
申请(专利权)人：无锡启晖光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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