用于基板的载具及组装该载具的方法技术

本发明专利技术关于薄膜的真空沉积领域中用于基板的载具及组装该载具的方法。具体而言，本发明专利技术针对一种用于基板的载具(1)，该基板要在真空室中涂布，该载具包含：第一框架(3)，第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，这些部分经尺寸调整以围绕该基板；第二框架(2)，第二框架(2)经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且第二框架(2)经尺寸调整以覆盖第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在第二框架(2)安装至第一框架(3)时，防止第一框架(3)的第一部分(33)被涂布；以及其中第二框架(2)以可拆卸的方式安装至第一框架(3)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于基板的载具及组装该载具的方法专利技术所属的
本专利技术关于薄膜的真空沉积领域中用于基板的载具及组装该载具的方法。具体而言，本专利技术针对用于基板的载具，其中该载具包括两个框架。专利技术背景薄膜沉积技术对于众多设备的生产发挥着关键作用。在复合沉积生产线中，实现操作时间最大化（亦即，将维护及装载时间缩至最短）是十分理想的。以此方式，增加沉积生产线的效率，这对于这种系统的工业成功而言十分重要。DE102005045718B1揭示用于基板的载具，其中该载具的至少一部分由具有一定热膨胀系数的材料组成，该材料的热膨胀系数大于基板的热膨胀系数，该载具的特征在于该载具的预定区域具有桥状物，该桥状物经中心附接，该桥状物具有的热膨胀系数小于与该桥状物附接的区域的热膨胀系数。DE102005045717B3揭示用于基板的载具，该载具具有两个水平的及两个垂直的平板。EP1840242A1显示经由真空室输送基板的装置，具体而言，显示具有基板载具的涂布设施，基板可附接于该基板载具上或附接于该基板载具处，其中该基板载具包括至少一个护轨，该护轨沿着该基板载具的至少一侧延伸，且其中该护轨为孔，该孔通过一个或若干间隔开的轴承而与该基板载具间隔开。
技术实现思路
本专利技术针对如权利要求1中所揭示的一种用于基板的载具及如权利要求10中所提供的一种用于组装载具的方法，该载具包括两个框架。较佳实施例描述于从属权利要求中。在本专利技术的一个总体方面中，用于要在真空室中涂布的基板的载具包含：第一框架，该第一框架包含两个垂直部分及两个水平部分，该两个垂直部分及两个水平部分经尺寸调整以围绕该基板；第二框架，该第二框架经尺寸调整以界定要涂布的基板的区域，且该第二框架经尺寸调整以覆盖该第一框架的至少第一部分，从而在该第二框架安装至该第一框架时，防止该第一框架的该第一部分被涂布；以及其中该第二框架以可拆卸的方式安装至该第一框架。在沉积制程中，尤其在包括使基板移动的沉积制程中，任何框架或其他固持器构件可曝露于沉积源，且任何框架或其他固持器构件可通过沉积材料来涂布，该沉积材料在该框架或其他固持器构件上形成涂布材料的层。在执行预定次数的沉积之后，该框架或固持器上的该涂布材料可拆卸，从而形成粒子，这些粒子以未经控制的方式转移（例如）至该基板或该沉积设施的其他部分上。这些粒子可对经处理的基板造成有害影响，在某些情况下这些粒子甚至可毁坏这些经处理的基板。因此，需要对该框架或固持器进行定期清洁，以在到达可能造成脱离的临界条件（例如，经沉积材料的层的厚度）之前移除经沉积的材料。该框架的拆卸及清洁自然会导致该沉积设备停工。本专利技术的载具包含两个框架，该载具可确保该第二框架可较容易地拆卸且清洁，而该第一框架通过该第二框架而被部分或全部保护以免受涂布。因此，相比于该第二框架，该第一框架可能需要清洁的频率更低。在一些情况下，该第一框架可能并没有被实质上涂布，因此在任何时候皆没有经沉积的材料必须被移除。这种框架可连续地用于沉积设备，而无间歇的清洁周期。替代或另外地，此举可促进：该第一框架可永久地安装于沉积设备内部，因为该第一框架可不必定期拆卸且清洁。此举可进一步降低该沉积设备的复杂性。“真空室”的上下文中的术语“真空”涉及以下情况：其中外壳（例如，腔室）内部的压力经调整以具有任何低于大气压力的预定压力，在较佳方面中，该压力可低于300毫巴，低于10-3毫巴（高真空）或低于10-7毫巴（超高真空）。在其他方面中，该第二框架经尺寸调整以防止该基板的边缘区域被涂布。在其他方面中，该第二框架包含两个垂直部分及两个水平部分。在较佳方面中，可由四个部分组装该第二框架，该四个部分包括这些垂直及水平部分。此举可能有利，因为认为由不同部分组装的框架比整体框架更具生产的成本效率。这些框架可具有任何预定尺寸。或者，可由单块材料整体地形成这些框架，尤其是在这些框架的尺寸小于预定尺寸的情况下。一旦该框架的尺寸超过预定限制，则由两个垂直部分及两个水平部分组装该第二框架可更高效。此举可具有以下优点：在这些部分上存在缺陷的情况下，单个部分可经迅速交换。在该载具的其他方面中，该第一框架的这些垂直部分的材料与该第一框架的这些水平部分的材料不同；及/或该第二框架的这些垂直部分的材料与该第二框架的这些水平部分的材料不同。可通过在这些不同部分中具有不同材料，而在这些框架的不同的性能参数之间实现折衷。例如，使用具有高度结构完整性的载具且另一方面采用便宜的材料可能是理想的。在此情况下，不同的部分可包括具有预定性质的不同材料（例如，由具有预定性质的不同材料制成）。以此方式，可对于预定参数满足不同设计目标。例如，该第一框架的这些垂直部分可包含便宜且柔软的材料，其中该第二框架可包含垂直部分，这些垂直部分包括稳定且昂贵的材料。此组合可确保该载具的价格及机械性质满足预定要求。在本专利技术的替代性方面中，该第一及/或该第二框架的所有部分可包含不同的材料。在该载具的其他方面中，该第一框架包含铝，及/或该第一框架的这些垂直部分包含钛。在该载具的其他方面中，该第二框架包含钛，及/或该第二框架的这些垂直部分包含铝。钛及铝的组合可能较佳，因为铝为较轻、相对便宜的金属，其中钛可具有良好的热膨胀性质（铝的热膨胀系数比钛的热膨胀系数大略高三倍）。该两个因素可能对于较大框架皆具有增加的重要性，这些较大框架支撑较大基板（例如，大于2x1m2），在此情况下，可能更难找到机械完整性与价格之间令人满意的折衷。在较佳实施例中，该第一框架的这些垂直部分包括钛，且该第一框架的这些水平部分包括铝，且该第二框架的这些垂直部分包括铝，且该第二框架的这些水平部分包括钛。所有部分亦可分别由铝及钛制得。此组合可提供载具，其中两个框架皆包含关于所选择材料的互补设置。因此，当接合该两个框架时，通过钛部分对基板进行无间隙地封闭。鉴于铝及钛的不同的热膨胀系数，此举可能有利。明显地，此互补设置对其他材料的配对亦可具有这些有利的影响。在其他方面中，该第二框架包含停止器部分，以在水平方向上限制该基板。此举可防止该基板在水平方向上移动，在水平方向上的该移动可引起该基板的位移乃至损坏。因为在一些方面中，该第二框架的这些水平部分包含钛或由钛组成，钛可具有类似于典型的基板材料（例如，玻璃）的较低的热膨胀系数，所以该停止器部分可附接至该第二框架。当对该第二框架及该基板加热时，该基板将通过这些停止器仍然保持水平固定。在这些水平部分包含其他材料的载具中，可能需要采用额外的措施。因此，本专利技术的这些载具允许关于这些停止器的简单且高效的设计。在其他方面中，这些停止器部分布置在该第二框架的适合的位置处，以使得该基板可在高温下限制于水平位置，尤其在接近于该真空室的处理温度的温度下，从而确保该基板的垂直边缘由该第二框架来覆盖。因为制程的温度可较高，且该框架所包含的材料的几何结构在加热时可经历实质改变，所以引入这些停止器部分以便将该基板的预定设置维持在该载具内部是有利的。在其他方面中，该第二框架的这些水平部分在该第一框架的这些水平部分的水平范围的中部处或接近于该第一框架的这些水平部分的水平范围的中部处固定至该第一框架，以使得在加热时，该第二框架的热膨胀相对于该第一框架在水平方向上大体上对称。以此方式，可保证该两个框架的明确定义的膨胀。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.27 EP 10174387.01.一种用于在真空室中要涂布的基板的载具(1)，所述载具包含：第一框架(3)，所述第一框架(3)包含两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)，所述两个垂直部分(32)及两个水平部分(31)经尺寸调整以围绕所述基板；第二框架(2)，所述第二框架(2)包括两个第二垂直部分(22)和两个第二水平部分(21)，且经尺寸调整以界定要涂布的所述基板的区域，其中所述第二框架(2)的所述两个第二垂直部分(22)和所述两个第二水平部分(21)为条形，且经尺寸调整以覆盖所述第一框架(3)的至少第一部分(33)，从而在所述第二框架(2)安装至所述第一框架(3)时，防止所述第一框架(3)的所述第一部分(33)被涂布；以及其中所述第二框架(2)以可拆卸的方式安装至所述第一框架(3)，其中所述第一框架(3)的所述垂直部分(32)的材料与所述第一框架(3)的所述水平部分(31)的材料不同；和/或所述第二框架(2)的所述第二垂直部分(22)的材料与所述第二框架(2)的所述第二水平部分(21)的材料不同，其中所述第二框架包含停止器部分，以将所述基板限制在水平方向上，其中所述停止器部分布置在所述第二框架的适合的位置处，以使得所述基板能够在接近于所述真空室的处理温度的高温下限制于水平位置，从而确保所述基板的垂直边缘由所述第二框架来覆盖。2.如权利要求1所述的载具，其中所述第二框架(2)经尺寸调整以防止所述基板的边缘区域被涂布。3.如权利要求1所述的载具，其中所述第一框架(3)的所述水平部分(31)包含铝及/或所述第一框架(3)的所述垂直部分(32)包含钛。4.如权利要求1或3所述的载具，其中所述第二框架(2)的所述第二水平部分(21)包含钛及/或所述第二框架(2)的所述第二垂直部分(22)包含铝。5.如权利要求1至3中任一项所述的载具，其中所述第二框架(2)使用锁孔螺栓接合部而以可拆卸的方式安装至所述第一框架，其中所述第二框架(2)在朝向所述第一框架(3)的一侧包含螺栓，所述螺栓被设计成与所述第一框架(3)中相应的锁孔(62)开口啮合，其中所述锁孔(62)被设计成允许处于啮合位置的所述相应的螺栓的移动。6.如权利要求5所述的载具，其中所述锁孔(62)被设计成使得处于所述啮合位置的所述相应的螺栓的所述移动相比于限制在第二空间方向，而更加限制在第一空间方向上，所述第一及第二空间方向两者皆在大体上平行于所述第一框架的平...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·布吕宁，O·海梅尔，R·欣特舒斯特，H·G·沃尔夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：