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本发明所述的一种可移位辐射源架及其工作方法，可移位辐射源架包括主转动轴，围绕主转动轴均匀设置若干个基片工件盘，主转动轴与各基片工件盘通过连杆连接，基片工件盘下装有使其自转的次传动轴，在基片工件盘旋转面上下两侧分别设有上部可移动加热辐射体和下...
该专利属于无锡启晖光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡启晖光电科技有限公司授权不得商用。

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