一种使用硅掺杂操作的新型嵌入式3D应力和温度传感器制造技术

技术编号:9064581 阅读:154 留言:0更新日期:2013-08-22 03:53
本文提供了一种用于构建能够提取六个应力分量和温度的应力传感接线匣的新途径,并且对其可行性进行了分析和实验验证。该途径可以包括改变传感元件的掺杂浓度并且利用n-Si中的剪切压阻系数(π44)的独特行为。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:霍萨姆·穆罕默德·哈姆迪·格哈比瓦伊德·艾哈迈德·穆罕默德·穆萨
申请(专利权)人:艾伯塔大学校董事会
类型:
国别省市:

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