【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种薄膜电池的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在导电衬底上沉积电池层；在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案；在上述纳米图案做为掩模的保护下，在电池层的表面形成纳米光栅；在电池层的纳米光栅表面形成PN结；在PN结表面制备顶电极；在电池层的窗口区沉积介质膜，以钝化纳米光栅，形成完整的叠层纳米光栅结构；在导电衬底未沉积电池层的一侧制备背面电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞英，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：
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