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本发明提供了一种薄膜电池的制作方法以及薄膜电池。所述方法包括如下步骤:在导电衬底上沉积电池层;在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案;在上述纳米图案做为掩模的保护下,在电池层的表面形成纳米光栅;在电池层的纳米光栅表面形成PN结;在PN结表...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种薄膜电池的制作方法以及薄膜电池。所述方法包括如下步骤:在导电衬底上沉积电池层;在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案;在上述纳米图案做为掩模的保护下,在电池层的表面形成纳米光栅;在电池层的纳米光栅表面形成PN结;在PN结表...