光电编码器制造技术

本发明专利技术涉及一种光电编码器。所述光电编码器包括：光接收单元，其包括第一光接收元件行和第二光接收元件行；以及遮光层，其包括遮光部和透光部，其中，所述第一光接收元件行和所述第二光接收元件行错开配置在第二方向上，以使得所述第一光接收元件行和所述第二光接收元件行中的光接收元件的排列图案具有在第一方向上相同的间距和在所述第一方向上不同的相位，以及所述第一光接收元件行中的光接收元件的光接收面上的透光部和所述第二光接收元件行中的光接收元件的光接收面上的透光部被形成为在所述第二方向上错开排列的情况下彼此没有重叠。

【技术实现步骤摘要】
光电编码器
本专利技术涉及一种用于精确测量的光电编码器。
技术介绍
传统上，在对如线性位移和角位移等的精确测量中已使用了光电编码器(以下有时称为“编码器”)。该编码器安装在如三维测量设备或图像测量设备等的设备中。该编码器包括：光源；刻度尺(scale)，其包括光学网格；以及光接收单元，其包括多个光接收元件并且具有位于光接收面上的索引网格，该索引网格被配置成能够连同光源一起相对于刻度尺移动，并且该光接收单元被配置成各光接收元件具有彼此不同的相位。简要说明编码器的操作。在使刻度尺相对于光源和光接收单元移动的情况下，来自光源的光经由刻度尺的光学网格照射到索引网格上。这导致生成多个(例如，四个)具有不同相位的正弦光的明暗图案。这些正弦光的明暗图案表示光信号。在具有不同相位的光的明暗图案被与各相位相对应的光接收元件接收到的情况下，通过光电转换来生成电信号，并且利用该电信号来测量线性位移的量等。顺便提及，在目的是进行一维测量的编码器的情况下，多个光接收元件通常沿着测量轴配置成线状(例如，JP2005-208015A)。因此，为了提高位移量测量的分辨率性能，自然期望在光接收单元内在测量轴方向上配置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光电编码器(1)，包括：光源(3)；刻度尺(5)，用于利用从所述光源照射的光(L)在沿着测量轴的第一方向(X)上生成光的明暗图案；以及光接收单元(7)，用于检测所述光的明暗图案，所述光接收单元包括第一光接收元件行(LRL)、第二光接收元件行(LRL)以及遮光层(20)，所述第一光接收元件行(LRL)和第二光接收元件行(LRL)各自包括多个光接收元件(PD)，所述光接收元件排列在所述第一方向上并且用于检测所述光的明暗图案，所述遮光层(20)包括形成在所述光接收元件的光接收面上的遮光部(20a)和透光部(20b)，其中所述遮光部用于遮挡所述光的明暗图案并且所述透光部用于使得所述光的明暗图案透过...

【技术特征摘要】
2012.02.15 JP 2012-0309331.一种光电编码器(1)，包括：光源(3)；刻度尺(5)，用于利用从所述光源照射的光(L)在沿着测量轴的第一方向(X)上生成光的明暗图案；以及光接收单元(7)，用于检测所述光的明暗图案，所述光接收单元包括第一光接收元件行(LRL<0>)、第二光接收元件行(LRL<1>)以及遮光层(20)，所述第一光接收元件行(LRL<0>)和第二光接收元件行(LRL<1>)各自包括多个光接收元件(PD)，所述第一光接收元件行和所述第二光接收元件行的各个光接收元件排列在所述第一方向上并且用于检测相同相位的所述光的明暗图案，所述遮光层(20)包括形成在所述光接收元件的光接收面上的遮光部(20a)和透光部(20b)，其中所述遮光部用于遮挡所述光的明暗图案并且所述透光部用于使得所述光的明暗图案透过，所述第一光接收元件行和所述第二光接收元件行错开配置在与所述第一方向正交的第二方向(Y)上，以使得所述第一光接收元件行和所述第二光接收元件行中的光接收元件的排列图案具有在所述第一方向上相同的间距和在所述第一方向上不同的相位，所述第一光接收元件行中的光接收元件的光接收面上的透光部和所述第二光接收元件行中的光接收元件的光接收面上的透光部被形成为在所述第二方向上错开排列的情况下彼此没有重叠，以及一个所述透光部和在所述第一方向上夹持所述透光部的所述遮光部形成于每个光接收面上。2.根据权利要求1所述的光电编码器，其中，在假定所述光接收元件(PD)的光接收面上的形成有所述遮光层(20)的透光部(20b)的区域是光接收区域的情况下，在所述第一光接收元...

【专利技术属性】
技术研发人员：田原智弘，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：