制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置，石墨电极包括：圆柱形基部；至少部分呈圆弧形的端部，端部圆弧的半径尺寸为5-20mm之间；以及平滑连接圆柱形基部和圆弧形端部的圆台形过渡区，该圆台形过渡区与所述端部邻接位置的直径在10-35mm之间。电极端部采用圆弧状设计，易于脱落的端部接触位置使用前将被加工掉，所以从该位置脱落的石墨颗粒大大减少。端部的圆弧的半径大小控制在5-20mm之内，使得电流密度最高点将优先集中于端部位置的顶端，使得电流稳定；与端部邻接位置的直径控制在10-35mm之间，可以保证端部足够的电流密度此时形成间端放电。由此形成的电弧也稳定，温度控制也更加稳定。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术大体涉及石英坩埚制造装置，具体地涉及用于电弧加热石英坩埚的石墨电极以及石英坩埚制造装置。
技术介绍
在石英坩埚的生产过程中，使用石墨电极放电产生的电弧来加热熔化石英坩埚最为常见。传统上一般使用三根石墨电极I’，每根石墨电极分别和工业供电的三相连接。开始放电前，三根石墨电极均布在石英坩埚上方，每一根石墨电极设计为整体圆柱体形状。给电后，三根电极通过旋转装置在电极端部接触，通过瞬间电流短路使电流产生，电弧也随之产生。电弧产生后，稳定一段时间后，通过石墨电极旋转装置2’，增加端部电极间间距S’，形成加热范围合适的弧光，从而加热熔化石英原料形成石英坩埚。传统石墨电极设计为整体圆柱体形状导致以下缺点:1、短路导电时，端部接触位置的石墨由于瞬间大电流冲击，很容易从电极端部上脱落下来，脱落的石墨电极落到石英坩埚内，造成黑点或者气泡等缺陷，导致坩埚质量下降甚至废弃； 2、由于端部接触位置电极间距离最近，电弧将优先在该接触位置产生。由于该接触位置仅限于石墨电极靠内侧，该部位形状无规则，形成的电弧不稳定，电流波动较大，温度控制较为困难。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种制造石英坩埚用石墨电极以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
制造石英坩埚用石墨电极，其特征在于，包括：圆柱形基部；以及与该圆柱形基部相连的至少部分呈圆弧形的端部；所述端部的圆弧为半径尺寸为5?20mm之间的圆形的一部分，所述圆柱形基部的直径在10?35mm之间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李宗辉，王璐，
申请(专利权)人：圣戈班研发上海有限公司，圣戈班石英锦州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：