下载制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置的技术资料

文档序号:9018056

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本实用新型涉及一种制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置,石墨电极包括:圆柱形基部;至少部分呈圆弧形的端部,端部圆弧的半径尺寸为5-20mm之间;以及平滑连接圆柱形基部和圆弧形端部的圆台形过渡区,该圆台形过渡区与所述端部邻接位置的直径在...
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