本实用新型专利技术系提供一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于气压缸、直向移动齿轮、圆形齿轮、连杆、封合板制动片、封合板、封合板密封圈及连杆旋转固定座所组成，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连杆上设置有制动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的旋转已进行闭合、开启动作，达到真空腔体间的封合。本实用新型专利技术结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀产线总长度，大幅减少设备投入成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术关于一种真空腔体间内置封合装置，特别涉及一种真空腔体间封合用，以区隔不同程度的真空范围。
技术介绍
当前，真空腔体封合装置都使用外置式封合装置，需要制作一小型真空腔体作为封合装置的主结构，封合装置在此空间内做水平及垂直的移动以封合不同腔体的真空状态，通常设备会配置数十个封合装置，使用此设置不仅增加设备制作成本，也同时会加长设备的总体长度，使其在运用时会因设备总体长度过长而被使用者的厂房面积限制。
技术实现思路
本技术在于提供一种真空腔体间内置封合装置，其主要目的系为了提供一种真空腔体间内置封合装置，节省建置成本，同时后续保养维护也相当简单。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是:一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于气压缸、直向移动齿轮、圆形齿轮、连杆、封合板制动片、封合板、封合板密封圈及连杆旋转固定座所组成，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连杆上设置有制动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的旋转已进行闭合、开启动作，达到真空腔体间的封合。本技术结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高 ，又同时设置于真空腔体内，不需额外再制作一小型真空腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀线的产线总长度，大幅减少设备投入成本。本技术有益效果为。1.本技术齿轮组及连杆进行动力的传递，结构简单。2.本技术利用气压缸作为主动力来源，后续不需要维护保养，节省保养成本。附图说明图1系为本技术之一种真空腔体间内置封合装置示意图。图2系为本技术之一种真空腔体间内置封合装置动作流程图。主要组件符号说明。11...气压缸。12...直向移动齿轮。13...圆形齿轮。14...连杆。15...封合板制动片。16...封合板。17...封合板密封圈。18...连杆旋转固定座。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步说明。请参阅第图1所示，一种真空腔体间内置封合装置，其包括气压缸11、直向移动齿轮12、圆形齿轮13、连杆14、封合板制动片15、封合板16、封合板密封圈17及连杆固定座18所组成。据此，当使用实施时请参阅图2所示，气压缸11以气压源驱动，使其气压缸活塞杆(未指示)进行伸缩运动，直向移动齿轮12固定于气压缸活塞杆(未指示)前端，随着气压缸活塞杆(未指示)进行伸缩运动而同步进行伸缩运动，又同时圆形齿轮13与直向移动齿轮12密接，当直向齿轮12进行伸缩移动时可带动圆形齿轮13在直向齿轮12的长度尺寸内作旋转的动作，连杆14 一端固定于连杆旋转固定座18，另一端则与圆形齿轮13接合，当圆形齿轮13被直向移动齿轮12带动时，进而连带使连杆作圆周旋转运动，连杆14上设置有4片封合板制动片15 ;封合板16锁固于封合板制动片15上；又封合板16上设置封合板密封圈17，当连杆14作圆周旋转运动时，封合板制动片15可带动封合板16做90度的旋转已进行闭合、开启动作，当闭合时封合板密封圈17可进行密封动作。再着，本技术以气压缸作为动力来源，以齿轮组最为驱动装置，于动作结束时，齿轮组可互相固定不至于因压力不同而产生密封不良的结果，且于系统断电时气压缸也可因气源而维持上一个状态结束状态，不至于产生因断电而失去动力来源的缺点，同时整个结构无需一小型腔体作为主结构，可直接固定于腔体开口处，有效地节省设备总体长度。本技术在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合技术专之申请要件，惟上详细明系针对本实用 新型之一可实施之具体明，该实施并非用以限制本技术之专范围，而凡未脱本技术技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。权利要求1.一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于，一种真空腔体间内置封合装置气由气压缸(11)、直向移动齿轮(12)、圆形齿轮(13)、连杆(14)、封合板制动片(15)、封合板(16)、封合板密封圈(17)及连杆固定座(18)所组成其中气压缸(11)以气压源驱动，使其活塞杆进行伸缩运动，其中直向移动齿轮(12)固定于气压缸活塞杆上，随著气压缸活塞杆移动而进行伸缩运动，又同时圆形齿轮(13)与直向移动齿轮(12)密接，当直向齿轮(12)伸缩移动时可带动圆形齿轮(13)在一定范围内旋转，其中连杆(14)固定于连杆固定座(18)，连杆(14)设置有4片封合板制动片(15),封合板(16)锁固于封合板制动片(15)上,又封合板(16)上设置封合板密封圈(17),当连杆(14)旋转时,封合板制动片(15)可带动封合板(16)做闭合、开启 的移动，当闭合时封合板密封圈(17)可进行密封动作。专利摘要本技术系提供一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于气压缸、直向移动齿轮、圆形齿轮、连杆、封合板制动片、封合板、封合板密封圈及连杆旋转固定座所组成，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连杆上设置有制动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的旋转已进行闭合、开启动作，达到真空腔体间的封合。本技术结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀产线总长度，大幅减少设备投入成本。文档编号B01J3/03GK203108508SQ20122071482公开日2013年8月7日 申请日期2012年12月23日 优先权日2012年12月23日专利技术者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于，一种真空腔体间内置封合装置气由气压缸（11）、直向移动齿轮（12）、圆形齿轮（13）、连杆（14）、封合板制动片（15）、封合板（16）、封合板密封圈（17）及连杆固定座（18）所组成其中气压缸（11）以气压源驱动，使其活塞杆进行伸缩运动，其中直向移动齿轮（12）固定于气压缸活塞杆上，随著气压缸活塞杆移动而进行伸缩运动，又同时圆形齿轮（13）与直向移动齿轮（12）密接，当直向齿轮（12）伸缩移动时可带动圆形齿轮（13）在一定范围内旋转，其中连杆（14）固定于连杆固定座（18），连杆（14）设置有4片封合板制动片（15），封合板（16）锁固于封合板制动片（15）上，又封合板（16）上设置封合板密封圈（17），当连杆（14）旋转时，封合板制动片（15）可带动封合板（16）做闭合、开启的移动，当闭合时封合板密封圈（17）可进行密封动作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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