【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种全金属过滤器，特别涉及一种应用于半导体设备上的全金属气体过滤器。
技术介绍
随着微电子行业的快速发展，对半导体电子元器件的精细化要求越来越高，尤其是对提供各种微电子零部件生产和组装的加工设备提出了更高要求。在此类加工设备上，加工过程中许多场合对各种气体都要求有一定的纯净度才能保证仪表、仪器和喷头等关键辅件的正常使用，从而保证产品品质。为了去除气体中的灰尘，杂质等颗粒，以免造成相关辅件阻塞和磨损，通常设备中采用塑料囊式过滤器、离线式过滤器或在线式不锈钢滤网过滤器，但是在过滤高压高温气体时，塑料囊式过滤器内的塑料滤芯会因温度过高而产生纤维脱落现象，从而失去过滤效果，同时过滤器外壳还会变形甚至因压力过高而爆炸；离线式过滤器占地面积大，拆装不便，浪费滤器材料并增加人力成本；而不锈钢滤网过滤器虽然能满足耐温耐压要求，但是滤网的孔径较大，无法满足工艺用气的纯净度要求。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中所存在的上述问题，而提供一种结构设计合理，可以耐高温高压，在线式，拆装方便的，并且过滤效率较高的全金属过滤器。本实用 新型解决上述技术问题所采用的技术方案是:该...
【技术保护点】
一种全金属过滤器，其特征在于：包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张凌霄，王文富，
申请(专利权)人：杭州帝凡过滤技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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