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本实用新型涉及一种全金属过滤器，特别涉及一种应用于半导体设备上的全金属气体过滤器。该全金属过滤器，其特征是，包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口...
该专利属于杭州帝凡过滤技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州帝凡过滤技术有限公司授权不得商用。

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