夹取高温盖的夹钳制造技术

本实用新型专利技术公开了一种夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二钳臂。本实用新型专利技术的夹钳，能安全有效地夹取高温的碳化硅舟盖，避免硅片的玷污，节省时间，提高效率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

夹取高温盖的夹钳
本技术涉及半导体领域中的夹钳，尤其涉及一种夹取高温盖的夹钳。背景^支术在半导体制造过程中，CVD(Chemical Vapor D印osition,化学气相沉积) 工艺要求连续工位的进出炉操作在一定时间内完成。由于装有较多硅片的碳化 硅舟在出CVD炉时温度很高，通常是200 300。C,直接拿取碳化硅舟盖可能造 成烫伤，带来安全隐患，而使用高温手套直接接触又会带来玷污，影响最后芯 片的质量，若待其冷却至室温后再进行操作，则需要很长时间，违反工艺规定， 且效率低下。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种夹取高温盖的夹钳，能在高温下 完成碳化硅舟盖的夹取操作，既安全可靠，又减少玷污，节约时间。为了解决上述技术问题，本技术夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆， 该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手 柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二 钳臂。所述手柄部和4f臂部相互垂直。所述第 一钳臂和第二钳臂的下端分别设有第 一钳爪和第二钳爪，该第 一钳 爪和第二钳爪的形状与被夹取物的边缘结构相适配。 所述枢轴选用螺丝、铆钉或轴销。 所述夹钳为不锈钢材质。本技术夹取高温盖的夹钳，由于手柄与两个钳臂通过枢轴枢接，因此 能安全有效地夹取高温的碳化硅舟盖，避免硅片的玷污，节省时间，提高效率。附图说明图1是本技术夹取高温盖的夹钳的一个实施例的结构示意图； 图2是本技术夹取高温盖的夹钳的另 一个实施例的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步详细的^L明。 如图1所示，本技术夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆，该两个钳杆 通过枢轴7枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所 述手柄部包括第一手柄1和第二手柄2,所述钳臂部包括第一钳臂3和第二钳臂 4。在本技术的一个实施例中(见图l),所述手柄部和^l计臂部相互垂直， 通常所述手柄部位于钳臂部的右上方，当使用该结构的夹钳夹取碳化硅舟盖时， 能有效防止碳化硅舟中的硅片被玷污，且操作方便。在本技术的另一个实施例中(见图2)，所述夹钳的第一钳臂3和第二 钳臂4的下端分别设有第一钳爪5和第二钳爪6,该第一钳爪5和第二钳爪6的 形状与被夹取物的边缘结构相适配，从而使夹钳能稳固地夹起被夹取物。CVD工 艺中使用的碳化硅舟盖由碳化硅制成，易碎，碳化硅舟盖若没被夹稳掉下来， 极容易摔碎。由于碳化硅舟盖两侧边缘靠中间的部位通常设有圆形的凹槽结构， 因此，本技术夹钳的第一钳爪和第二钳爪的形状优选设计成圆形，以与碳 化硅舟盖上的圆形凹槽结构相适配。本技术夹钳的枢轴选用螺丝、铆钉或轴销。本技术夹钳的材料优选为不锈钢材质，更优选抗高温的316不锈钢，使用不锈钢制成的夹钳，能有效防止硅片的玷污。使用本技术夹钳夹取高温的碳化硅舟盖时，只需单手握住第 一手柄和 第二手柄，并将夹钳的第一钳臂和第二钳臂分别落在碳化硅舟盖的两侧，当第 一钳臂和第二钳臂下端的第 一钳爪和第二钳爪碰到碳化硅舟盖上的圆形凹槽结 构、并与其相适配扣合时，紧握第一手柄和第二手柄，然后稍;微用力上抬，即 可安稳地夹起碳化硅舟盖。使用本技术夹钳，既安全省时、操作简便，又 能有效避免夹取石友化硅舟盖过程中给硅片造成玷污。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和 详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以 做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术 专利的保护范围应以所附权利要求为准。权利要求1.一种夹取高温盖的夹钳，其特征在于，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二钳臂。2. 根据权利要求1所述的夹钳，其特征在于，所述手柄部和钳臂部相互垂直。3. 根据权利要求l所述的夹钳，其特征在于，所述第一钳臂和第二钳臂的 下端分别设有第一钳爪和第二钳爪。4. 根据权利要求3所述的夹钳，其特征在于，所述第一钳爪和第二钳爪的 形状与被夹取物的边缘结构相适配。5. 根据权利要求1至3中任一项所述的夹钳，其特征在于，所述枢轴选用 螺丝、铆4r或轴销。6. 根据权利要求1所述的夹钳，其特征在于，所述夹钳为不锈钢材质。专利摘要本技术公开了一种夹取高温盖的夹钳，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二钳臂。本技术的夹钳，能安全有效地夹取高温的碳化硅舟盖，避免硅片的玷污，节省时间，提高效率。文档编号B25B11/00GK201183228SQ200820095330公开日2009年1月21日 申请日期2008年7月8日 优先权日2008年7月8日专利技术者叶宗桂, 王晓峰 申请人:深圳深爱半导体有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹取高温盖的夹钳，其特征在于，包括两个钳杆，该两个钳杆通过枢轴枢接成一体，该两个钳杆的前端和后端分别为钳臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述钳臂部包括第一钳臂和第二钳臂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶宗桂，王晓峰，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]