电子出射窗箔制造技术

技术编号:8983442 阅读:213 留言:0更新日期:2013-08-01 02:18
本发明专利技术提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构,该夹层结构具有Ti膜(202)、比Ti具有更高热导率的材料的第一层(204)和能够保护所述膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206),其中该第二层(206)面向该腐蚀环境。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子出射窗箔。更具体地,本专利技术涉及在腐蚀环境中使用且以高性能运转的电子出射窗箔。
技术介绍
电子束设备可被用于利用电子辐照物体,例如用于表面处理。这样的设备常常被用在食品包装工业中,其中电子束提供了对包装件(例如塑料瓶或稍后会被转变为包装件的包装材料)的高效杀菌。电子束杀菌的主要优点是可避免湿法化学法(使用例如H2O2),从而使这种湿法环境所需的大量部件和设备有所减少。电子束设备通常包括连接到电源的细丝,其中该细丝发射电子。该细丝优选地被设置在高真空中以增加所发射电子的平均自由程而加速器将所发射电子导向出射窗。电子出射窗被提供来允许电子逸出电子束发生器使得它们可在电子束发生器外面移动,从而与待杀菌的物体碰撞并在该物体的表面释放能量。电子出射窗通常由薄的电子可穿透箔组成,该箔抵靠电子束发生器密封以维持电子束发生器内部的真空。网格形式的冷却的支撑板进一步被提供来防止箔由于高真空而塌陷。Ti因其在高熔点和电子穿透性以及提供薄膜的能力之间的合理的良好匹配而通常被用作为箔材料。Ti膜的一个问题是它可被氧化,导致使用寿命和运行稳定性的下降。为了实现出射窗的长寿,在电子束 设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:本诺·齐格利戈卢卡·波皮拉斯奥克·内斯隆德沃纳·哈格库尔特·霍尔姆安德斯·克里斯蒂安松
申请(专利权)人:利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
类型:
国别省市:

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