振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备，防止因振动泄漏现象产生的对驱动振动臂或检测振动臂的振动的影响，提高振动特性。振动片具有：与从振动体（4）延伸的第一梁（61）连接，支撑振动体（4）的第一支撑部（51）；设置于第一支撑部（51），沿着与第一梁（61）的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置的检测信号端子（714）及检测接地端子（724），第一梁（61）和第一支撑部（51）在检测信号端子（714）和检测接地端子（724）之间连接，在检测信号端子（714）和检测接地端子（724）之间设有薄部（54a）或贯通部，薄部形成为在第一支撑部的正反方向上的厚度薄，贯通部是在正反方向上贯通去除第一支撑部而形成的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动片、振动器件、物理量检测装置以及使用了它们的电子设备。
技术介绍
以往，作为用于检测角速度的振动片，已知有所谓的“WT型”陀螺仪元件(例如参照专利文献1、专利文献2)。作为一例，对专利文献I的陀螺仪元件进行说明，专利文献I的陀螺仪元件具有:振动体；支撑振动体的第一、第二支撑部；连接振动体和第一支撑部的第一、第二梁；连接振动体和第二支撑部的第三、第四梁。此外，振动体由以下部分构成:基部；从基部起朝向两侧沿着I轴延伸的第一、第二检测振动臂；从基部起朝向两侧沿着X轴延伸的第一、第二连接臂；从第一连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第一、第二驱动振动臂；从第二连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第三、第四驱动振动臂。这样的专利文献I的陀螺仪元件经由导电性粘结剂安装在安装基板上。具体地说，设置于第一、第二支撑部的六个连接端子(固定部)与安装基板通过导电性粘结剂接合，由此将陀螺仪元件固定到安装基板上，并且将陀螺仪元件和安装基板电连接。专利文献I日本特开2006-201011号公报专利文献2日本特开2010-256332号公报在如上所述的陀螺仪元件中，公知会产生所谓的“振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，其特征在于，该振动片具有：振动体；支撑部，其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置，所述梁与所述支撑部在所述两个固定部之间相连，在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。

【技术特征摘要】
2012.01.30 JP 2012-0163901.一种振动片，其特征在于，该振动片具有: 振动体； 支撑部，其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置， 所述梁与所述支撑部在所述两个固定部之间相连， 在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述支撑部具有从所述梁分别延伸到所述两个固定部的宽度狭窄部，所述支撑部的所述宽度狭窄部处的宽度比所述支撑部的设置所述固定部的部分的宽度窄。3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述薄部或所述贯通部的靠所述振动体侧的端部在所述支撑部的侧面开放。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的振动片，其特征在于， 所述振动体具有:基部；从基部起朝向两侧沿着第一方向延伸的第一检测振动臂以及第二检测振动臂；从所述基部起朝向两侧沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一连接臂和第二连接臂；从所述第一连接臂起朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第一驱动振动臂和第二驱动振动臂；从所述第二连接臂朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第三驱动振动臂和第四驱动振动 臂，由所述第一检测振动臂以及所述第二检测振动臂构成检测振动系统，由所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动...

【专利技术属性】
技术研发人员：大泽征司，菊岛正幸，菊池尊行，山口启一，矶野裕一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：