传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能简单且可靠发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明专利技术的传感器元件具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸并通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241)，其从基部延伸并随着驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据施加于驱动用振动臂的物理量而输出信号；调节用电极(551、553)，其被设置在调节用振动臂(241)上，且与检测用电极电连接，并随振动臂(241)的振动而输出与检测用电极极性相反的电荷，调节用电极(551)具备：共用部(60)，其与检测用电极电连接；多个分支部(61)，其从共用部(60)分支且沿着调节用振动臂(241)的延伸方向而并排设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器元件、传感器元件的制造方法、传感器装置以及电子设备。
技术介绍
作为传感器元件，已知一种角速度传感器(振动陀螺传感器)，其被用于例如车辆中的车身控制、车辆导航系统的本车位置检测、数码照相机或摄像机等的振动控制补正(所谓的手抖补正)等，并对角速度、加速度等的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。例如，专利文献I所记载的角速度传感器具有音叉，所述音叉通过两个臂、和对该两个臂的一端彼此进行连接的连接部而构成。此外，在专利文献I所记载的角速度传感器中，音叉由非压电体材料构成，并且在各个臂上分别设置有通过压电薄膜插入在一对电极之间而构成的驱动部以及检测部。在这种专利文献I所记载的角速度传感器中，通过向驱动部的一对电极之间施加电压，从而使臂进行弯曲振动(驱动)。而且，当在该驱动状态下，臂受到绕沿着其延伸方向的轴线的角速度时，将由于科里奥利力，而使臂向与前文所述的驱动方向正交的方向挠曲，从而由检测部的一对电极检测出对应于该挠曲量的电荷。根据该被检测出的电荷，而能够对角速度进行检测。然而，如前文所述的具有两个臂的音叉一般通过对基板进行蚀刻加工而形成。此时，由于该基板的蚀刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器元件，其特征在于，具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷，所述电极包括：共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。

【技术特征摘要】
2011.09.29 JP 2011-2144271.一种传感器元件，其特征在于，具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号， 在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷， 所述电极包括共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。2.如权利要求1所述的传感器元件，其中，多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在共用部侧大。3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部的电极面积互不相同。4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部相对于所述振动臂的所述延伸方向而倾斜。5.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部分别在所述共用部的两侧分支。6.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面与所述第二面进行连结的侧面， 所述电极在所述第一面以及所述第二面中的至少一个面上设置有所述共用部以及多个所述分支部，并且在所述侧面上设置有侧面电极。7.如权利要求6所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具备沿着所述延伸方向而设置的槽部， 所述分支部的至少一部分被设置在所述槽部的壁面上。8.如权利要求6所述的传感器元件，其中， 所述共用部以及多个所述分支部分别被设置在所述第一面以及所述第二面上， 设置在所述第一面上的多个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：市川史生，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：