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本发明提供传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能简单且可靠发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸并通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241)，其从基部延伸并随着驱...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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