【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空机器人领域的方法，具体涉及。
技术介绍
随着大规模集成电路产业的迅速发展，其主流技术正由0 300mm、65nm向0450mm、32nm过渡，而实践证明，0.35 μ m及其以下尺寸的许多前端工艺，如离子注入、刻蚀、镀膜、沉积、溅射等都必须在超高洁净度的真空环境下进行。为了提高洁净度和生产效率，降低成本，集束型设备已成为半导体前端设备的发展主流。真空机器人是集束型设备中晶圆在各反应工艺腔室之间传输的核心部件 ，由于真空机器人需要在真空环境下运作，而大气环境与真空环境之间的密封隔离与动力传递正是制约真空机器人性能提高的技术瓶颈。由于电机轴系及其位移测量装置是真空机器人的核心部件，因此处理好电机与位置检测部件的真空隔离问题成为设计真空机器人轴系的关键技术。大气机器人与真空机器人最核心的区别是它们的动力传递方式不同。大气机器人可以把电机直接安装在关节位置来驱动手臂；而真空机器人的手臂必须在高真空高洁净环境下工作，如果仍将电机直接连接手臂，电机定子电枢表面的塑料绝缘材料在真空环境下释放的微粒与气体将破坏高洁净度高真空环境，此外直接驱动电机的铜损(热...
【技术保护点】
一种集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将具有磁力直接驱动功能的永磁同步电机作为轴系的驱动与传动组件，其中，该永磁同步电机主要由电机外磁定子和电机内磁转子组成，电机外磁定子和电机内磁转子之间存在间隙；电机外磁定子主要由旋转电磁场线圈组成，作为轴系的驱动组件，该旋转电磁场线圈通电后，产生旋转磁场驱动被隔离密封套封闭在真空容器中的电机内磁转子旋转；电机内磁转子和真空机器人的手臂直接相连；步骤2：将正余弦磁阻式旋转变压器作为电机的位置检测部件，用于实时检测电机内磁转子位置与转速；该旋转变压器主要由旋转变压器外磁定子和旋转变压器内磁转子组成，旋转...
【技术特征摘要】
1.一种集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法，其特征在于，包括如下步骤: 步骤1:将具有磁力直接驱动功能的永磁同步电机作为轴系的驱动与传动组件，其中，该永磁同步电机主要由电机外磁定子和电机内磁转子组成，电机外磁定子和电机内磁转子之间存在间隙；电机外磁定子主要由旋转电磁场线圈组成，作为轴系的驱动组件，该旋转电磁场线圈通电后，产生旋转磁场驱动被隔离密封套封闭在真空容器中的电机内磁转子旋转；电机内磁转子和真空机器人的手臂直接相连； 步骤2:将正余弦磁阻式旋转变压器作为电机的位置检测部件，用于实时检测电机内磁转子位置与转速；该旋转变压器主要由旋转变压器外磁定子和旋转变压器内磁转子组成，旋转变压器外磁定子和旋转变压器内磁转子之间存在间隙； 步骤3:将电机内磁转子的端部进行加长，将旋转变压器内磁转子除去，形成一体化内磁，转子使得电机和旋转变压器共用一个一体化内磁转子； 步骤4:将整个电机、旋转变压器的一体化内磁转子封闭在隔离密封套中，隔离密封套用于限制磁体径向和轴向的运动。2.根据权利要求1所述的集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法，其特征在于，所述电机内磁转子和/或旋转变压器内磁转子采用中空结构的设计，该中空结构用于使配线能够从轴系的中间芽过。3.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘品宽，张波，朱晓博，李玉洁，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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