【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于聚焦镜工作焦点位置的检测器件,特别是用于激光切割设备聚焦镜工作焦点位置的确定。
技术介绍
激光切割设备是通过聚焦镜将近似平行的激光光束汇聚成一极小的高能量点进行高精密的切割生产,一般焦点位置在切割嘴出光口下方200um左右时切割质量最佳,如图1所示,但是由于因切割需求在同一个镜筒里需要放置不同焦距的聚焦镜,或者每个镜筒加工的误差不尽相同,因此焦点的位置一般不会在理想位置,如图2所示,那么就需要对聚焦镜进行上下移动来调节焦点位置,以往是用钢片在切割嘴下方由远及近通过肉眼观察,钢片被击穿的临界位置来判断聚焦镜上下移动多少,操作繁琐,有一定危险,并且误差极大。中国专利CN101169602公开了一种调焦调平测量方法与装置,涉及应用于投影光刻系统中晶片的调焦调平传感系统的新方法,属于光学测量领域。本专利技术包括三大部分:光源准直模块、调焦子系统和调平子系统。本专利技术的激光器发出激光经过单模光纤准直,再经过漂移补偿装置后,透过偏振分光器和λ /4波片入射到被测硅片上,经过平面反射镜和直角反射棱镜使光线多次经过被测硅片,再利用透镜组在位置探测器前进行 ...
【技术保护点】
一种多光谱光电寻焦器,包括光电传感器、滤光片齿轮转盘、转盘驱动电机、驱动齿轮、升降座、升降座驱动电机、升降杆、计算机控制系统,所述升降座上下两端具有凹槽,升降座驱动电机位于升降座下端凹槽内部、升降杆的下面,升降座驱动电机上端和升降杆下部相连,升降杆位于升降座的上部凹槽中,光电传感器位于升降杆的顶部中央凹槽内,启动光电寻焦器时,所述的转盘驱动电机通过所述的驱动齿轮带动滤光片齿轮转盘转动,滤光片自动旋转到光电传感器的上方,光线通过滤光片落在光电传感器上,传感器感光发出信号,所述信号输入计算机控制系统。
【技术特征摘要】
1.一种多光谱光电寻焦器,包括光电传感器、滤光片齿轮转盘、转盘驱动电机、驱动齿轮、升降座、升降座驱动电机、升降杆、计算机控制系统,所述升降座上下两端具有凹槽,升降座驱动电机位于升降座下端凹槽内部、升降杆的下面,升降座驱动电机上端和升降杆下部相连,升降杆位于升降座的上部凹槽中,光电传感器位于升降杆的顶部中央凹槽内,启动光电寻焦器时,所述的转盘驱动电机通过所述的驱动齿轮带动滤光...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏志凌,宁军,周强,
申请(专利权)人:昆山思拓机器有限公司,
类型:发明
国别省市:
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