【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种PECVD加热器反射板装置。
技术介绍
目前，于PECVD沈积设备加热器背面皆放置一片反射板，随着沈积薄膜温度越来越高的要求，加热器的极限温度也不断升高，一片反射板方式的加热器不仅在阻隔热能散失的功能上达不到要求，同时热源会以辐射热能的方式向腔壁扩散，使真空腔内温度控制难度增加，也使的需要在真空腔壁外需要布置大量水路来冷却逐渐发热的真空腔壁，为了使真空腔内达到需要调节的温度，只有通过提升加热器功率或增设多组加热器来达成，此举增加了设备开发成本。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本专利技术的主要目的在于提供一种PECVD加热器反射板装置，它利用不向刚表面抛光处理使热源可有向的反射，同时利用多层次的方式增加热阻，有效地阻隔热源向真空腔壁扩散。 为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是: 一种PECVD加热器反射装置，包括3层不锈钢表面抛光处理板装置于加热器后方，固定于等高柱凹槽，使层与层之间保持IOmm的间隔。本专利技术有益效果为: 1.本专利技术利用表面抛光不锈钢板，结构简单。2.本专利技术利用等高柱凹槽固定每层不锈钢板，拆卸方便。附图说明图1系为本专利技术结构示意图。图2系为不锈钢板结构示意图。主要组件符号说明 1...加热器 2...不锈钢板组 3...固定等高柱，共21个 21...第一层不锈钢板 22...第二层不锈钢板 23...第三层不锈钢板具体实施例方式下面结合附图对本专利技术做进一步说明。请参阅图1所示，一种PECVD加热器反射板装置，其包括托加热器主体I及不...
【技术保护点】
一种PECVD加热器反射板装置，它由以不锈钢板组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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