一种无阀压电微量泵制造技术

本发明专利技术公开了一种无阀压电微量泵，包括振动板、泵体（8）和通过螺栓（6）连接在泵体（8）上的上盖板（1），上盖板（1）和泵体（8）之间构成空腔，振动板设置在上盖板（1）和泵体（8）之间，空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔，振动板由振动膜片（2）和环形压电陶瓷片（3）同轴粘接构成，振动膜片（2）中未与环形压电陶瓷片（3）、上盖板（1）及泵体（8）接触的中部圆形区域和外围环形区域均布有锥形孔，锥形孔的大端朝向进液负压腔，小端朝向出液压力腔。本发明专利技术的无阀压电微量泵，结构简单、体质轻巧、功率容量大、整机制造装配容易，生产成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用压电陶瓷材料逆压电效应的微流体机械装置，具体来说，涉及一种无阀压电微量泵。
技术介绍
压电微量泵是MEMS研究领域的一个重要方向，作为微流体系统的驱动源，它是微流体系统发展水平的重要标志。压电微量泵已广泛应用于药物微量输送、生物工程、微量化学分析、打印机喷墨阵列、微量液体或气体配给、燃料微量喷射、分子识别、细胞分离、疾病诊断、药物筛选、环境监测、集成电子元件冷却、微型部件的润滑、微小卫星的推进等科学
根据压电微量泵有无阀片可将其分为有阀型微泵和无阀型微泵，尽管有阀型微泵的工作原理比较简单，易于控制，制造工艺比较成熟，但由于整个泵体中存在阀片等机械可动部件，受加工工艺和加工精度的制约，在实际生产应用中有阀型微泵依然存在一些问题:阀片频繁开关易疲劳损坏，导致微泵可靠性不高、使用寿命短；对于某些液体易发生阻塞；微泵硅薄膜易碎，成品率低；整机制作难度大、加工成本高。为了克服以上有阀型微泵的不足，公开号为CN201246300的专利文献公开了一种“V”型管无阀压电泵，该无阀压电泵在泵体的进口管和出口管分别安装V型管和倒V型管，实现了液体介质的单向流动控制，简化了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无阀压电微量泵，包括振动板、泵体（8）和通过螺栓（6）连接在泵体（8）上的上盖板（1），所述上盖板（1）和泵体（8）之间构成空腔，其特征在于：所述振动板设置在上盖板（1）和泵体（8）之间，所述空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔，振动板由振动膜片（2）和环形压电陶瓷片（3）同轴粘接构成，振动膜片（2）中未与环形压电陶瓷片（3）、上盖板（1）及泵体（8）接触的中部圆形区域和外围环形区域均布有锥形孔，锥形孔的大端朝向进液负压腔，小端朝向出液压力腔，所述振动膜片（2）和上盖板（1）之间、振动膜片（2）和泵体（8）之间均设置有密封圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：殷振，李华，曹自洋，李艳，王广勋，伯洁，黄亚萍，赵峰，姚敬东，任坤，
申请(专利权)人：苏州科技学院，
类型：发明
国别省市：