一种多锥型腔无阀压电泵制造技术

本发明专利技术公开了一种多锥形腔无阀压电泵，包括由底座、泵盖组成的泵体，和设置于泵体内的泵腔，所述的泵腔具有至少三个泵腔单元，所述的泵腔单元各具有一个进液口和一个出液口，所述的进液口处分别设有压电振子，所述的出液口的开口小于进液口的开口，所述的至少三个泵腔单元呈环形阵列布置，所述的各出液口相对布置，各出液口相连通并形成一个呈圆形的混合腔。本发明专利技术的无阀压电泵结构简单，安装简便，可批量生产；多腔并联，使流量，压差都有显著提高；异步驱动下减小了流体输出脉动和回流。圆形混合腔内形成漩涡，很好的起到了混合流体的作用，配合多进流口可用于不同流体的混合。采用异步驱动时还可进行流量供给的精确控制。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多锥形腔无阀压电泵，包括由底座（1）、泵盖（2）组成的泵体（3），和设置于泵体（3）内的泵腔（4），其特征在于，所述的泵腔（4）具有至少三个泵腔单元（43，43’，43’’），所述的三个泵腔单元（43，43’，43’’）各具有一个进液口（41，41’，41’’）和一个出液口（42，42’，42’’），所述的进液口（42，42’，42’’）分别设有压电振子（5，5’，5’’）；所述的出液口（42，42’，42’’）小于进液口（41，41’，41’’）；所述的至少三个泵腔单元（43，43’，43’’）呈环形阵列布置，所述的各出液口（42，42’，42’’）相对布置并形成混合腔（7）；所述底座（1）设有至少三个进流口（9，9’，9’’），所述的的进流口（9，9’，9’’）分别设于泵腔单元（43，43’，43’’）的进液口（42，42’，42’’）处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建辉，蔡军，黄俊，胡方军，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：