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一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵制造技术

技术编号:8529150 阅读:235 留言:0更新日期:2013-04-04 10:38
本发明专利技术涉及微流体传输与控制以及微机械技术领域,特指一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵。包括射流控制元件,其特征在于:射流控制元件由一个三通管和三个直流管组成,其中三通管是由一个汇流锥管和两个相同的分流管组成的三通结构,两个分流管的一端与汇流锥管截面积较大的一端连通,另一端分别与进出口腔连通,三个直流管的一端分别连接三个下泵腔,另一端交汇并与汇流锥管最小截面连通,射流控制元件关于汇流锥管中心线呈中心对称。本发明专利技术的有益效果是:结构简单,易于微型化,泵的容积效率高,并且可以实现双向输送流体。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵,包括泵体、泵盖和三个压电振子,泵体和泵盖键合,三个压电振子固定于泵盖上方,泵盖上设置有三个上泵腔,一个进口和一个出口,泵体上设置有对应于上泵腔的三个下泵腔,进口腔、出口腔以及射流控制元件;三个下泵腔与三个上泵腔分别连通,进出口腔分别与泵的进出口连通,其特征在于:射流控制元件由一个三通管和三个直流管组成,其中三通管是由一个汇流锥管和两个相同的分流管组成的三通结构,两个分流管的一端与汇流锥管截面积较大的一端连通,另一端分别与进出口腔连通,三个直流管的一端分别连接三个下泵腔,另一端交汇并与汇流锥管最小截面连通,射流控制元件关于汇流锥管中心线呈中心对称。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨嵩袁寿其何秀华禚洪彩李富
申请(专利权)人:江苏大学
类型:发明
国别省市:

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