微机电系统(MEMS)电容式欧姆开关和设计结构技术方案

技术编号:8883323 阅读:232 留言:0更新日期:2013-07-04 02:07
本发明专利技术提供了一种微机电系统(MEMS)、形成该MEMS的方法以及设计结构。所述方法包括在基底上形成共面波导(CPW),所述CPW包括信号电极和电极对。所述方法包括在所述CPW之上形成第一牺牲材料,且在所述第一牺牲材料之上以及所述CPW上方形成布线层。所述方法包括在所述布线层之上形成第二牺牲材料,且在所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料附近形成绝缘体材料。所述方法包括在所述绝缘体材料中形成至少一个通气孔以暴露部分所述第二牺牲材料,且通过所述通气孔去除所述第一和第二牺牲材料以在所述布线层附近形成腔结构,所述腔结构暴露位于所述布线层下方的所述信号线和所述电极对。用密封材料密封所述通气孔。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统(MEMS)电容式欧姆开关和设计结构
本专利技术涉及半导体结构和制造方法,更具体而言,涉及微机电系统(MEMS)电容式欧姆开关(capacitiveohmicswitch)结构、制造方法和设计结构。
技术介绍
在集成电路中使用的集成电路开关可以由固态结构(例如晶体管)或无源布线(passivewire)(MEMS)来形成。MEMS开关由于其几乎完美的隔离性(isolation)以及其在约1GHz和更高的频率下的低插入损耗(即,电阻)而被典型地使用,隔离性是无线电应用的重要要求,在无线电应用中,MEMS开关被用于功率放大器(PA)的模式切换。MEMS开关可被用于多种应用,主要是模拟和混合信号应用。一个这样的例子是蜂窝电话芯片,其包含功率放大器(PA)和针对每种广播模式而被调谐(tune)的电路。芯片上的集成开关将PA连接到合适的电路,从而可以获得用于每种模式的优化性能。基于特定的应用和工程标准,MEMS结构可以有许多不同的形式。例如,MEMS可以以悬臂梁(cantileverbeam)结构的形式来实现。在悬臂结构中,通过施加致动电压将悬臂(一端固定的悬置电极)拉向固定电极。通本文档来自技高网...
微机电系统(MEMS)电容式欧姆开关和设计结构

【技术保护点】
一种方法,包括:在基底上形成共面波导(CPW),所述CPW包括信号电极和电极对;在所述CPW之上形成第一牺牲材料;在所述第一牺牲材料之上以及所述CPW上方形成布线层;在所述布线层之上形成第二牺牲材料;在所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料附近形成绝缘体材料;在所述绝缘体材料中形成至少一个通气孔,以暴露部分所述第二牺牲材料;通过所述通气孔去除所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料,以在所述布线层附近形成腔结构,所述腔结构暴露位于所述布线层下方的所述信号电极和所述电极对;以及用密封材料密封所述至少一个通气孔。

【技术特征摘要】
2012.01.03 US 13/342,6891.一种形成MEMS结构的方法,包括:在基底上形成共面波导,所述共面波导包括信号电极和电极对,其中,所述共面波导包括MEMS开关的固定板;在所述共面波导之上形成第一牺牲材料;在所述第一牺牲材料之上以及所述共面波导上方形成布线层,其中,所述布线层包括所述MEMS开关的可动板;在所述布线层之上形成第二牺牲材料;在所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料附近形成绝缘体材料;在所述绝缘体材料中形成至少一个通气孔,以暴露部分所述第二牺牲材料;通过所述通气孔去除所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料,以在所述布线层附近形成腔结构,所述腔结构暴露位于所述布线层下方的所述信号电极和所述电极对;以及用密封材料密封所述至少一个通气孔,其中,所述可动板与所述固定板形成三个电容器。2.如权利要求1所述的方法,还包括至少在所述共面波导的暴露表面上形成至少一个绝缘层,且至少在所述布线层的面向所述共面波导的表面上形成绝缘体层。3.如权利要求1所述的方法,其中:所述电极对被形成为地电极;所述信号电极和地电极对被暴露在所述腔中;并且所述布线层被形成为可动板,所述可动板在被致动时,朝向所述地电极和所述信号电极移动。4.如权利要求1所述的方法,其中:所述电极对被形成为致动器对;所述共面波导还包括掩埋在所述绝缘体材料中的地线对;所述信号电极和所述致动器对被暴露在所述腔中;并且所述布线层被形成为可动板,所述可动板在被致动时,朝向所述致动器对和所述信号电极移动。5.如权利要求1所述的方法,还包括在所述共面波导和所述布线层之间形成中间布线层,其中:所述中间布线层包括MEMS开关的固定板;所述布线层包括所述MEMS开关的可动板;并且所述中间布线层被电连接到所述共面波导。6.如权利要求1所述的方法,其中,所述共面波导和所述布线层通过固定板而被分隔,所述固定板被电连接到所述共面波导。7.一种形成MEMS结构的方法,包括:在第一绝缘体层上形成共面波导,所述共面波导包括信号线和地线;在第二绝缘体层上形成MEMS开关的固定板,所述固定板至少与所述共面波导的所述信号线电连接;以及在所述固定板之上形成所述MEMS开关的可动板,其中所述可动板的至少一部分被腔结构包围,所述腔结构是通过去除牺牲材料而形成的,其中,所述可动板与所述固定板形成三个电容器。8.如权利要求7所述的方法,还包括:在所述固定板之上形成第一牺牲材料层;并且在所述可动板之上形成第二牺牲材料层和第三绝缘体层,...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁汉屹刘奇志A·K·斯坦珀
申请(专利权)人:国际商业机器公司
类型:发明
国别省市:

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