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本发明提供了一种微机电系统（MEMS）、形成该MEMS的方法以及设计结构。所述方法包括在基底上形成共面波导（CPW），所述CPW包括信号电极和电极对。所述方法包括在所述CPW之上形成第一牺牲材料，且在所述第一牺牲材料之上以及所述CPW上方形...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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