集群设备控制系统及其调度方法技术方案

本发明专利技术公开了一种集群设备控制系统的调度方法和装置。集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程。通过本发明专利技术实施例，可以将所有其他进程依次启动/关闭，从而减少了繁琐的启动/退出步骤，加大地加快了集群设备控制系统的启动/退出速度，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种。
技术介绍
随着微电子制造技术的不断发展和进步，微电子制造设备的复杂程度也越来越高。集簇设备控制软件，例如刻蚀软件系统，是一个稳定高效的分布式系统。如图1所示，为现有集簇设备控制软件架构图。该软件由五个独立又紧密相关的子系统组成，包括 PMC(Process Module Controller,工艺模块控制系统)、TMC(Transport ModuleController,传输模块控制系统)、CTC (Cluster Tool Controller,集群设备控制系统)、FA(Factory Automation、工厂自动化软件系统)和APC(Advanced Process Controller、先进工艺控制系统)。其中，CTC软件是集簇设备控制软件的一部分，CTC软件向上与工厂接口软件连接，通过工厂接口软件将设备的相关信息传送给工厂控制中枢；CTC软件向下与TMC、PMC软件连接，控制TMC、PMC软件的协调工作，使机台达到较高的产率。目前的CTC软件分为Communicator (通信)、Coordinator (协作)、Bridge (桥接)、CTCGUI (CTC 图形用户界面)四个模块，四个模块各为一个独立的进程，进程间通过.Net Remoting进行通信。其中，CTC软件的启动顺序依次为Communicator、Coordinator、Bridge和CTCGUI。后续的进程需要用到前面进程的信息，所以每个进程必须在前一个进程完全启动后再启动。需要说明的是，对于CTCGUI模块来说，其最先启动，而最后完成启动，因此将其排在最后。目前启动CTC软件，是由软件人员手动依次启动各个进程。每个进程由软件人员根据相关的提示信息，判断进程是否启动完毕，如果该进程启动完毕，然后再手动启动下一个进程，依次启动，直到所有进程均启动成功。现有技术的缺点是1、CTC软件各个模块的进程的启动，必须由对进程比较熟悉的人员自己判断各个进程是否启动完毕。如果某个进程未启动完毕就启动后续进程，会导致系统启动不成功。并且当非软件人员想使用该软件系统，需要了解各个进程的启动顺序，及如何判断某个进程是否启动成功，不方便相关人员的使用。2、手动依次启动各进程，难免会出现启动延时，会极大地降低启动速度，从而造成生产效率的降低。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别提出了一种。本专利技术实施例提出了一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程，所述方法包括以下步骤:启动所述CTCGUI程序；按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序；在所述Communicator程序启动完成之后,所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序；在所述Coordinator程序启动完成之后,所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序；在所述Bridge程序启动完成之后,所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTC⑶I程序完成应用程序的全部启动。在本专利技术的一个实施例中，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动均完成之后，所述CTCGUI程序结束启动。本专利技术另一方面还提出了一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块，所述CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块互为独立的进程,所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块通过各自的通道与所述CTCGUI程序模块通信，且所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块与所述CTCGUI程序模块之间具有公共接口，所述CTCGUI程序模块通过所述公共接口对所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块进行调用，其中:所述CTCGUI程序模块，用于按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序模块，并在所述Communicator程序模块启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序模块,且在所述Coordinator程序模块启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序模块，以及在所述Bridge程序模块启动完成之后，完成应用程序的全部启动；所述Communicator程序模块,用于在所述Communicator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Coordinator程序模块，用于在所述Coordinator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Bridge程序模块，用于在所述Bridge程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块。在本专利技术的一个实施例中，在所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动时,所述CTCGUI程序模块处于暂停状态，当所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动均完成之后，所述CTCGUI程序模块结束启动。本专利技术实施例还提出了一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序，所述Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序互为独立的进程，所述方法包括以下步骤:所述CTCGUI程序按照所述退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序退出；在所述Bridge程序退出完成之后，所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGW程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序退出；在所述Coordinator程序退出完成之后，所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程，其特征在于，所述方法包括以下步骤：启动所述CTCGUI程序；按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序；在所述Communicator程序启动完成之后，所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序；在所述Coordinator程序启动完成之后，所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序；在所述Bridge程序启动完成之后，所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTCGUI程序完成应用程序的全部启动。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁小祎，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：