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本发明公开了一种集群设备控制系统的调度方法和装置。集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、C...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。