用于硅片制备中的暂时性粘合用粘合剂组合物制造技术

本发明专利技术涉及硅片制备中所使用的暂时性粘结的粘合剂组合物、其制备方法及其用途。所述的粘合剂组合物包括组分A和组分B，其中组分A包含环氧树脂；组分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。

【技术实现步骤摘要】
用于硅片制备中的暂时性粘合用粘合剂组合物
本专利技术涉及硅片制备中使用的暂时性粘结的粘合剂组合物、其制备方法及其用途。
技术介绍
在硅片制备工业中，需要对硅锭进行切片。通常使用粘合剂通过将硅锭粘结固定在支撑物上进行硅锭切片。在硅锭切片步骤结束后，需要使硅片与支撑物和粘合剂分离而得到成品硅片。因此，对于用于硅片制备的粘合剂组合物，一方面需要其在硅锭和/或切割后的硅片与支撑物之间的粘结性应足够强，不造成粘结失败；另一方面要求在完成硅锭的切片过程后可将粘合剂从硅片上除去，也就是说，这样的粘合剂组合物是暂时性粘结的。US4897141A公开了一种从半导体锭制备切片的方法，其通过使用环氧粘合剂将所述半导体锭粘结在切割梁上，并将锭切割成片，其包括以下步骤：a)将空心微球与环氧粘合剂的树脂部分混合，所述空心微球由硅酸盐玻璃熔体等制得；b)将环氧粘合剂的固化剂与步骤a)的混合物混合；c)将经混合的粘合剂体系涂布在切割梁和/或半导体上；d)将切割梁与硅锭相接触；e)使粘合剂固化；f)切片；g)通过使半导体切片和切割装置之间的粘结断裂而获得切片。JP9157628公开了一种暂时性粘结的粘合剂，其包含一种或多种松香树脂或改性松香树脂，其制备方法为将所述松香树脂或改性松香树脂与二元酸或苯乙烯-丙烯酸共聚物混合，并将所得混合物溶解在pH7.5-14的碱性水溶液中。使用时将该粘合剂均匀涂覆在切片上，通过烘烤将粘合剂中的水和其它挥发性组分挥发，然后在高于所述树脂软化点的温度下加热所得切片，使所得切片暂时粘结并冷却，在切片加工后用刀具等剥离粘合剂。JP7224270公开了一种暂时固定硅片的粘合剂，其由聚甘油脂肪酸酯、聚甘油与环氧乙烷的加成物和聚甘油与环氧丙烷的加成物作为该粘合剂的活性成分。此外，该粘合剂难溶于冷水而易溶于热水，因此在涂覆后可通过使用热水去除该粘合剂。虽然现有技术中已存在上述用于硅锭切片的暂时性粘合剂，但在硅片制备工业中，从得到更高的硅片良品率的角度考虑，对于结合了更好的粘结效果、易于脱胶的暂时性粘结用粘合剂仍存在需求。
技术实现思路
本专利技术一方面涉及一种粘合剂组合物，其包括组分A和组分B，其特征在于组分A包含环氧树脂；组分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。在本专利技术的一个实施方案中，所述水溶性聚合物以分子水平分散于组分B中。在本专利技术的另一个实施方案中，所述环氧树脂选自双酚A型的环氧树脂、双酚F型的环氧树脂以及它们的组合。在本专利技术的又一个实施方案中，基于所述粘合剂组合物的总重量，所述环氧树脂的含量为25重量％～40重量％，更优选为30重量％～35重量％。在本专利技术的又一个实施方案中，所述硫醇是多官能聚硫醇。在本专利技术的又一个实施方案中，基于所述粘合剂组合物的总重量，所述硫醇的含量为20重量％～30重量％，更优选为21.5重量％～27.5重量％。在本专利技术的又一个实施方案中，所述胺选自N-氨基乙基哌嗪、N，N-二甲基苄基胺、2，4，6-三(二甲氨基甲基)苯酚以及它们的组合。在本专利技术的又一个实施方案中，基于所述粘合剂组合物的总重量，所述胺的含量为1.5重量％～4重量％，更优选为2.5重量％-3重量％。在本专利技术的又一个实施方案中，所述水溶性聚合物选自聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)、聚乙酸乙烯酯(PVA)以及它们的组合。在本专利技术的又一个实施方案中，所述粘合剂组合物的总重量，所述水溶性聚合物的含量为1重量％～3重量％，优选为2重量％。在本专利技术的又一个实施方案中，组分A和组分B中的至少一个组分还包含填充剂。所述填充剂可以选自氧化铝、二氧化硅、碳酸钙以及它们的组合。在本专利技术的又一个实施方案中，基于所述粘合剂组合物的总重量，所述填充剂的含量为15重量％～50重量％，优选为25重量％～40重量％。另一方面，本专利技术还涉及制备所述粘合剂组合物的方法。在一个实施方案中，所述方法包括以下步骤：(1)将所述环氧树脂与所述任选的填充剂均匀混合，形成组分A；(2)将所述水溶性聚合物溶解于所述硫醇中，使其以分子水平分散的形式分散于所述硫醇中而形成预混合物；然后将所述预混合物与胺和所述任选的填充剂均匀混合，形成组分B；和(3)将组分A和组分B混合而形成所述粘合剂组合物。另外，本专利技术还涉及所述粘合剂组合物在硅锭切片中的用途。具体实施方式除非另外定义，本文使用的所有技术和科学术语具有与本专利技术所属领域技术人员通常理解的相同的含义。若存在矛盾，则以本申请提供的定义为准。当以范围、优选范围、或者优选的数值上限以及优选的数值下限的形式表述某个量、浓度或其它值或参数的时候，应当理解相当于具体揭示了通过将任意一对范围上限或优选数值与任意范围下限或优选数值结合起来的任何范围，而不考虑该范围是否具体揭示。除非另外指出，本文所列出的数值范围旨在包括范围的端点，和该范围之内的所有整数和分数。当术语“约”和“大约”用于描述数值或范围的端值时，所公开的内容应理解为包括具体值或所涉及的端值。除非另外说明，本文中所有的百分比、份数、比值等均是按重量计。本文的材料、方法和实施例均是示例性的，并且除非特别说明，不应理解为限制性的。本专利技术详述如下。根据本专利技术的一个方面，提供了一种粘合剂组合物，本专利技术涉及一种粘合剂组合物，其包括组分A和组分B，其特征在于组分A包含环氧树脂，组分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。在本专利技术的一个优选实施方案中，所述水溶性聚合物以分子水平分散于组分B中。在本专利技术中，“分子水平分散”具有本领域技术人员所知晓的普通含义，特别是指本专利技术的水溶性聚合物以接近分子水平或分子水平分散在预混合物和由其得到的组分B中，所得预混合物和由其得到的组分B透明且无肉眼可察的颗粒。<环氧树脂>在本专利技术的内容中，“环氧树脂”指分子结构中含有环氧基团的高分子化合物。固化后的环氧树脂具有良好的物理化学性能，它对金属和非金属材料的表面具有优异的粘接强度，硬度高，柔韧性较好，对碱及大部分溶剂稳定。适用于本专利技术的环氧树脂包括芳香族缩水甘油环氧树脂或脂肪族环氧树脂，例如双酚型或酚醛型环氧树脂、其它带有环氧基团的双官能和单官能环氧树脂及环氧稀释剂或其组合，更具体的可以是双酚A型的环氧树脂、双酚S型的环氧树脂、双酚F型的环氧树脂、苯酚清漆型的环氧树脂、甲酚清漆型的环氧树脂及环氧稀释剂或其组合，优选双酚A型的环氧树脂、双酚F型的环氧树脂或其组合。本专利技术中所使用的环氧树脂可以是市售的，如迈图新材料公司的EPON828和EPON862；陶氏化学的DER331等环氧树脂。在本专利技术的粘合剂组合物中，所述环氧树脂的含量为基于所述粘合剂组合物的总重的约25重量％～约40重量％，优选含量为约30重量％～约35重量％。<硫醇>在本专利技术中，硫醇泛指具有R-SH结构的化合物，其中R是烷基。适用于本专利技术的硫醇包括多官能聚硫醇和多官能单体硫醇，特别优选地是多官能聚硫醇。适用于本专利技术的多官能单体硫醇包括但不限于二官能单体硫醇、三官能单体硫醇和多官能单体硫醇。适用于本专利技术的二官能单体硫醇包括但不限于：二巯基丙酸二甘酸酯、4-叔丁基-1，2-苯二硫醇、双-(2-巯乙基)(硫醚)、4，4’-硫代二苯硫醇、苯二硫醇、二巯基乙酸乙二醇酯、二巯基丙酸乙二醇酯-1，2-亚乙基(3-巯基丙酸酯)、聚乙二醇二巯基乙酸酯、聚乙二醇二(3-巯基丙酸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粘合剂组合物，其包括组分A和组分B，其特征在于组分A包含环氧树脂；组分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物。

【技术特征摘要】
1.一种硅片制备中所使用的暂时性粘结的粘合剂组合物，其包括组分A和组分B，其特征在于组分A包含环氧树脂；组分B包含硫醇、胺和水溶性聚合物；并且其中所述水溶性聚合物选自聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙酸乙烯酯以及它们的组合；其中基于所述粘合剂组合物的总重量，所述硫醇的含量为21.5重量％～27.5重量％。2.根据权利要求1所述的粘合剂组合物，其中所述水溶性聚合物以分子水平分散于组分B和所述粘合剂组合物中。3.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述环氧树脂选自双酚A型的环氧树脂、双酚S型的环氧树脂、双酚F型的环氧树脂、苯酚清漆型的环氧树脂、甲酚清漆型的环氧树脂及环氧稀释剂以及它们的组合。4.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述环氧树脂选自双酚A型的环氧树脂、双酚F型的环氧树脂以及它们的组合。5.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中基于所述粘合剂组合物的总重量，所述环氧树脂的含量为25重量％～40重量％。6.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中基于所述粘合剂组合物的总重量，所述环氧树脂的含量为30重量％～35重量％。7.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述硫醇选自多官能聚硫醇、二官能单体硫醇、三官能单体硫醇、多官能单体硫醇以及它们的组合。8.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述硫醇选自以下硫醇中的一种或多种：二巯基丙酸二甘酸酯、4-叔丁基-1,2-苯二硫醇、双-(2-巯乙基)(硫醚)、4,4’-硫代二苯硫醇、苯二硫醇、二巯基乙酸乙二醇酯、二巯基丙酸乙二醇酯-1,2-亚乙基(3-巯基丙酸酯)、聚乙二醇二巯基乙酸酯、聚乙二醇二(3-巯基丙酸酯)、2,2-双(巯甲基)-1,3-丙二硫醇、2,5-二巯甲基-1,4-二噻烷、双酚芴双(乙氧基-3-巯基丙酸酯)、4,8-双-(巯甲基)-3,6,9-三噻-1,11-十一烷二硫醇、2-巯甲基-2-甲基-1,3-丙二硫醇、1,8-二巯基-3,6-二氧杂辛烷和硫代丙三醇双巯基乙酸酯、三羟甲基丙烷(三巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基乙酸酯)、三(3-巯丙基)异氰脲酸酯、1,2,3-三巯基丙烷和三(3-羟基丙酸酯)三乙基-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)三酮、聚(巯丙基甲基)硅氧烷、4-巯甲基-3,6-二噻-1,8-辛二硫醇季戊四醇四(3-巯基乙酸酯)和季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、以聚酯为主链的聚硫醇、以聚氨酯为主链的聚硫醇、以聚丙稀酸酯为主链的聚硫醇和以聚醚为主链的聚硫醇。9.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述胺选自多元胺、叔胺以及它们的组合。10.根据权利要求1或2所述的粘合剂组合物，其中所述胺选自以下胺中的一种或多种：脂族多元胺、芳基脂族多元胺、脂环族多元胺、芳族多元胺、杂环多元胺、聚烷氧基多元胺、二氰基二酰胺及其衍生物、氨基酰胺、酰亚胺、酮亚胺、三乙基胺、三...

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，沙比尔·阿特瓦拉，
申请(专利权)人：汉高股份有限公司，
类型：发明
国别省市：