抛光机校正板减负装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的抛光机校正板减负装置，其特征在于，包括机架，固定在所述机架上的提升套，所述提升套内设置有提升轴，所述提升轴的上端与气缸气连接，所述气缸与气源气连接，所述提升轴的下端连接上述校正板。本实用新型专利技术提供的抛光机校正板减负装置，可长期不间断工作，能够精确实现校正板对抛光盘的卸荷功能，同时操作简便、工作效率高、安全可靠。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种抛光机，特别是涉及一种抛光机校正板减负装置。
技术介绍
抛光机的工艺机理是形状复制法，需要高精度的保持性良好的柏油抛光 膜(蜡板)，而在抛光过程中胶盘面形的保持是其加工的关键，所以高精度的 抛光机必须配有校正板系统。通过有限元方法的计算，可以知道校正板的重 量产生的形变往往是很大的，在加工过程中，由于磨削作用，抛光膜的温度 会随着磨削而升高，当校正板的重量压在抛光膜上时会导致抛光膜的变形， 从而降低了抛光膜的精度，因此需要减轻校正板对抛光膜的压力。为了解决这些问题，过去工艺中使用的方法是在校正板上打孔，当需要 转移校正板或者使校正板方便清洗和存放时，用螺钉从孔中穿过，固定锁紧后在另一端加上重锤，利用重锤的重力使校正板移动；同样当需要减轻校正 板对抛光膜的压力时，利用在另一端加重锤的方法，来控制抛光校正板对抛 光膜的压力。在校正板上打孔不仅加大了校正板加工的难度，而且不利于操 作，也提高了清洗维护的难度；利用重锤的方法移动校正板，在操作时无法 确定精度，存在着自动化程度低，工作效率不高的问题。
技术实现思路
针对上述缺陷，本技术提供的抛光机校正板减负装置，利用气动装 置自动提升校正板，可以精确控制校正板对抛光膜的压力，提高了移动校正 板的精度和效率。本技术提供的一种抛光机校正板减负装置，包括机架，固定在所述 机架上的提升套，所述提升套内设置有提升轴，所述提升轴的上端与气缸气 连接，所述气缸与气源气连接，所述提升轴的下端连接上述校正板。优选地，所述气缸与气源通过比例阀气连接。优选地，所述提升轴的下端通过真空吸盘连接该校正板，所述真空吸盘 与真空发生器气连接。优选地，所述真空吸盘通过旋转接头与该真空发生器气连接。 优选地，所述提升轴的上端通过杆端球接头与气缸气连接。优选地，所述真空吸盘固定在吸盘座上，在所述吸盘座的上述提升轴中 心轴线位置上设置有可拆卸的定位轴，上述校正板的中心设置有圆形定位块。 优选地，所述真空吸盘通过球状接头固定在吸盘座上。 优选地，在该装置的气路中安装有压力表。优选地，还包括与上述提升轴和真空吸盘气连接的应急储气包。 本技术提供的抛光机校正板减负装置，利用气动装置自动提升校正板，可以精确控制校正板对抛光膜的压力，也提高了移动校正板的精度和效率。在本技术的优选方案中，设置有应急储气包，在整个系统停电停气 后校正板自动抬起，通过手动操作使校正板安全落到校正板存放架上，使整 个系统更加安全和可靠。综上所述，本技术提供的抛光机校正板减负装置，可长期不间断工 作，能够精确实现校正板对抛光盘的卸荷功能，同时操作简便、工作效率高、 安全可靠。附图说明图l是本技术实施例的结构示意图； 图2是本技术实施例的气路示意图。具体实施方式图l是本技术具体实施例的结构示意图，下面结合图l对本实用新 型实施例进行介绍。如图l所示， 一种抛光机校正板减负装置，包括机架(l)，固定在所述 机架(1)上的提升套(2),所述提升套(2)内设置有提升轴(3),所述提 升轴(3)的上端通过杆端球接头(4)与气缸(5)气连接，所述提升轴(3) 的下端通过真空吸盘(6)连接上述校正板(7),所述真空吸盘(6)通过旋 转接头(8 )与真空发生器气连接，所述真空吸盘(6 )固定在吸盘座(9)上， 在所述吸盘座(9)的上述提升轴(3)中心轴线位置上设置有可拆卸的定位 轴(10)，上述校正板(7)的中心设置有圓形定位块(11)。真空吸盘通过旋转接头与真空发生器相通，当真空发生器工作时，使每个真空吸盘处于抽真空状态，保证吸盘牢牢吸住校正板。每个真空吸盘都配 有球状接头，保证其在浮动状态下工作。吸盘座中心有一个可拆卸的定位轴， 保证其重复定位精度。提升套和提升轴之间安装了边界润滑轴承，配有旋转轴承组可保证校正 板在工作中转动自如。机架由型材槽钢、及钢板焊接而成，支撑整个校正板减压装置，具有良 好的稳定性和刚性。图2是本技术实施例的气路示意图。气源(1)经两联件(2)，由三通(3)分成两路 一路连通常闭两位三 通电磁阀(4)并控制真空发生器(5)，真空发生器(5)再通过两位三通电 磁阀(6)控制真空吸盘(7)对校正板进行吸附；另 一路通过三通(3 )分成 两路， 一路通过比例阀(8)接气压表(9)，再通过一个长通动断的两位三通 电磁阀(10 )控制气缸(11)下端进气气压的大小，(这一路通过比例阀(10 ) 来控制气缸(11)气压，从而实现对校正板的减负控制，减负精度为1%，最 后可以完全提升到压力为零，在其过程中，所设定的减负数值长时间不会变 化。)另一路则通过一个长断动通的两位三通电磁阀(12)控制气缸(11)下 端进气。(这一路是用来实现气缸(11)快速升降用的，因此，保持正常通气 气压就可以了 。)综上所述，本技术提供的抛光机校正板减负装置，可长期不间断工 作，能够精确实现校正板对抛光盘的卸荷功能，同时操作简便、工作效率高、 安全可靠。权利要求1. 一种抛光机校正板减负装置，其特征在于，包括机架，固定在所述机架上的提升套，所述提升套内设置有提升轴，所述提升轴的上端与气缸气连接，所述气缸与气源气连接，所述提升轴的下端连接上述校正板。2、 根据权利要求1所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述气 缸与气源通过比例阀气连接。3、 根据权利要求2所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述提 升轴的下端通过真空吸盘连接该校正板，所述真空吸盘与真空发生器气连接。4、 根据权利要求3所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述真 空吸盘通过旋转接头与该真空发生器气连接。5、 根据权利要求4所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述提 升轴的上端通过杆端球接头与气缸气连接。6、 根据权利要求5所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述真 空吸盘固定在吸盘座上，在所述吸盘座的上述提升轴中心轴线位置上设置有可 拆卸的定位轴，上述校正板的中心设置有圆形定位块。7、 根据权利要求6所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，所述真 空吸盘通过球状接头固定在吸盘座上。8、 根据权利要求7所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，在该装 置的气路中安装有压力表。9、 根据权利要求8所述的抛光机校正板减负装置，其特征在于，还包括 与上述提升轴和真空吸盘气连接的应急储气包。专利摘要本技术提供的抛光机校正板减负装置，其特征在于，包括机架，固定在所述机架上的提升套，所述提升套内设置有提升轴，所述提升轴的上端与气缸气连接，所述气缸与气源气连接，所述提升轴的下端连接上述校正板。本技术提供的抛光机校正板减负装置，可长期不间断工作，能够精确实现校正板对抛光盘的卸荷功能，同时操作简便、工作效率高、安全可靠。文档编号B24B29/00GK201079921SQ200720043139公开日2008年7月2日 申请日期2007年8月10日 优先权日2007年8月10日专利技术者刘民才, 吴学良, 杨李茗 申请人:南京利生光学机械有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抛光机校正板减负装置，其特征在于，包括机架，固定在所述机架上的提升套，所述提升套内设置有提升轴，所述提升轴的上端与气缸气连接，所述气缸与气源气连接，所述提升轴的下端连接上述校正板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴学良，杨李茗，刘民才，
申请(专利权)人：南京利生光学机械有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]