一种MEMS光学扫描探头制造技术

本发明专利技术公开了一种基于MEMS的侧前向扫描光学探头及其实现方法，外管内设置有基座和安装在基座上的光纤和透镜，基座前方设置有MEMS微镜A或反射镜A，反射镜B或MEMS微镜B设置于透镜前方，且反射镜B或MEMS微镜B的镜面与透镜轴线成一钝角，所述外管的最前端设置有窗口，所述窗口与外管的轴向方向呈预定角度。本发明专利技术所述的MEMS光学扫描探头既能实现对组织样品侧壁的侧向扫描成像，又能实现对人体内脏器官和较隐蔽组织的扫描成像，同时兼顾侧向扫描探头和前向扫描探头的功能，可实现侧前向扫描。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统的光学及电子电路设计领域，更具体的，涉及一种MEMS光学扫描探头。
技术介绍
目前，医疗设备
在进行内窥镜成像系统开发过程中普遍采用的一种方法是将微机电系统技术(microelectromechanical systems,简称MEMS)的扫描微镜与光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography, OCT)技术相结合,开发出内窥镜成像系统。图1为现有技术中公开的一种低成本内窥镜微型光学探头,其米用MEMS微镜实现了侧向扫描工作，可用于内窥成像时可将其侧面窗口与样品对准进行光学扫描，特别适应于腔道侧壁的扫描诊断。图2为现有技术中公开的一种MEMS光学探头，其采用MEMS微镜实现了前向扫描工作，用于内窥成像时可将其前端窗口贴近样品并进行扫描，特别适应于内脏器官和较隐蔽组织的扫描成像。综合考虑，以上两种不同工作方式的探头均具自己的优势，但均有一定局限性，侧扫光学探头不利于器官组织的扫描，前扫光学探头则不利于腔道侧壁的扫描。基于上述描述，亟需要扩大光学探头的使用范围，需要一种可实现侧前扫的MEMS光学，以满足多种内腔道环境的扫描成像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种手持MEMS光学扫描装置，其特征在于：包括手柄（2）、探头（1）、连接管（6）及其用于和OCT系统相连接的光电连接线（3），所示手柄（2）内部有一贯穿的通道，末端有一凹腔，凹腔内安装有插座（22）；所述光电连接线（3）与插座（22）导通连接；所述探头（1）末端连有可与插座（22）相连接的插头（31），探头（1）与连接管（6）内设有与插头（31）相连接的光纤线（12）和电连接线（13），探头（1）与连接管（6）连接后嵌在手柄（2）内后，插头（11）与插座（22）相连接，实现光电的导通。

【技术特征摘要】
1.一种手持MEMS光学扫描装置，其特征在于:包括手柄(2)、探头(I)、连接管(6)及其用于和OCT系统相连接的光电连接线(3)，所示手柄(2)内部有一贯穿的通道，末端有一凹腔，凹腔内安装有插座(22);所述光电连接线(3)与插座(22)导通连接；所述探头(I)末端连有可与插座(22)相连接的插头(31 )，探头(I)与连接管(6)内设有与插头(31)相连接的光纤线(12)和电连接线(13)，探头(I)与连接管(6)连接后嵌在手柄(2)内后，插头(11)与插座(22)相连接，实现光电的导通。2.根据权利要求1所述的手持MEMS光学扫描装置，其特征在于:所述探头(I)内设置有基座(16)、电路板(15)和光学组件(14)，基座(16)上方设有上凹腔(162)，下方设有下凹腔(161)，下凹腔(161)前端有一凹槽，凹槽底平面上有一和基座端面成特定角度的斜槽(163);所述电路板(15)安装在基座(16)的下凹腔(161)内，其一端与斜槽(163)角度一致，所述MEMS微镜(17)固定安装在斜槽(163)内，所述电连接线(13)的另一端和电路板(15)末端的焊盘导电连接；所述光学组件(14)安装在基座(16)的上凹腔(162)内，所述光纤线(12)的另一端和光学组件(14)相连接；探头外壳(101)的外表面有一窗口(102)，窗口上安装有窗片(103)。3.根据权利要求1所述的手持MEMS光学扫描装置，其特征在于:所述探头采用侧向扫描工作方式、前向扫描工作方式、侧前向扫描工作方...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅霖来，王东琳，谢会开，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：