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一种MEMS光学扫描探头制造技术
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文档序号:8792998
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本发明公开了一种基于MEMS的侧前向扫描光学探头及其实现方法,外管内设置有基座和安装在基座上的光纤和透镜,基座前方设置有MEMS微镜A或反射镜A,反射镜B或MEMS微镜B设置于透镜前方,且反射镜B或MEMS微镜B的镜面与透镜轴线成一钝角,所...
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