加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种加工装置，包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间。检测单元基于力传感器的输出检测加工部的切割力。本发明专利技术能够以高精度检测切割力，并且能够以高精度在工件表面上形成微型和复杂的三维图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于在将被加工的工件表面上形成微型图案的加工装置。
技术介绍
近年来，用于在工件表面形成樣i型图案的^支术由于可以藉此重 新产生功能表面而成为信息产业的支柱。例如，菲涅耳透#:、 -微棱 镜和微透镜阵列显示出光学功能且由此广泛应用于信息产业。例 如，通过在工件表面形成三维微型图案并将三维微型图案分布在FPD (平板显示器)的显示部分的结构上，可以提供具有光源亮度 分布校正功能、抗反射功能、虹/波紋防止功能等的显示器。还形成 三维微型图案用于增加期待作为清洁能源的太阳能电池的发电。近年来，可以购^寻各种FPD， i者如小型或中型FPD至大面积 FPD,这同样适于太阳能电池。为了4是供光学功能或增加发电而形 成的三维微型图案根据装置尺寸和目的而变化。因此，需要形成用 于各种目标规格的微型图案的技术。5此外，该纟支术还可应用于通过在发动一几活塞滑动部分上形成孩i 型图案并减少接触面积来抑制摩擦力，从而改进摩擦学功能。为了 改进界面功能，还可以形成具有由微型图案改进的拒水性的自洁表 面，或改进诸如导热性、边界层流、轴承、防锈和粘附力的特性。 另外，该技术现在广泛应用于生物领域本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工装置，包括：　加工部，包括切割刃；　致动器，被配置为使所述加工部轻微地振动；　壳，被配置为容纳所述致动器；　预载荷机构，设置在所述壳内，并被配置为向所述致动器施加预载荷；　力传感器，设置在所述切割刃和所述预载荷机构之间；以及　检测装置，用于基于所述力传感器的输出来检测所述加工部的切割力。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高伟，卢泳辰，荒井义和，小田桐广和，
申请(专利权)人：株式会社东北宏桥技术，索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]